SUSS MA200 3代光刻機專為大批量生產(chǎn)而設(shè)計，適用于200毫米以下晶圓和方形襯底的自動化加工。本系統(tǒng)集全場光刻技術(shù)與多種創(chuàng)新功能于一身。使其成為眾多應用的系統(tǒng)，例如生產(chǎn)厚膠工藝MEMS、有凹凸圖形的 3D 結(jié)構(gòu)以及*封裝應用，如3D封裝、扇出封裝、凸點封裝及化合物半導體和圖像傳感器。
MA200 3代提供適應眾多生產(chǎn)過程的智能化解決方案。多樣化的對準方案、靈活可調(diào)的鏡頭系統(tǒng)和特殊附加選項使本系統(tǒng)成為無二的處理各種不同工藝的設(shè)備。
高度自動化且切實節(jié)省寶貴的處理時間。這也體現(xiàn)在細節(jié)方面，例如選擇自動更換濾光片，以便維持低運營成本。
MA200 3代在設(shè)計方面著重凸出用戶友好性。如可調(diào)節(jié)高度的顯示器、符合人體工程學的I / O接口、連續(xù)運行期間更換晶圓盒和直接觀看曝光模塊等特性大大簡化了設(shè)備操作，即使是在高負荷工作時。
憑借其廣泛的附加選項，第3代 MA200 很容易就能達到特種光刻工藝的要求。因此，可以用根據(jù)客戶需求定制的特殊晶圓處理工具來處理敏感襯底，例如超薄晶圓或易碎材料襯底。選配的傾斜曝光系統(tǒng)可以在垂直的膠層側(cè)面上生成結(jié)構(gòu)，例如用于不同工藝層之間的重新布線。
