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SUSS 掩模對準器 MA100/150e Gen2

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2023-04-16
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 入駐年限1
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量441
  • 人氣值8009
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公司主營實驗室分析檢測儀器設備,以實驗室整體建設為發(fā)展方向。公司目前涉及電子電器、醫(yī)藥生物、石油化工、食品、機械、新材料、環(huán)境、科研高校等諸多領域。聯(lián)合山東醫(yī)藥化工設計院,美國安捷倫、美國熱電、日本島津、江蘇天瑞等眾多品牌及多個***重點實驗室從實驗室布局設計出圖、基礎設施建設、儀器設備供應、方法開發(fā)建立、后期運營管理,形成完整的專業(yè)實驗室建設體系,達到一站式服務,為眾多行業(yè)客戶提供更為完善的整體解決方案。
公司主營產(chǎn)品分為四大類,光譜儀、色譜儀、質(zhì)譜儀和環(huán)境在線檢測。
能量色散X熒光光譜儀(EDX)、波長色散X熒光光譜儀(WDX)、等離子體發(fā)射光譜儀(ICP)
、光電直讀光譜儀(OES)、原子吸收分光光度計(AAS)、原子熒光光譜儀(AFS)、拉曼光譜儀(Raman)、碳硫分析儀(CS)、紅外光譜儀、礦漿載流分析儀(OSA)、氣相色譜儀(GC)、液相色譜儀(LC)、氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀(GC-MS)、液相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀(LC-MS)、電感耦合等離子體質(zhì)譜儀(ICP-MS)、水質(zhì)在線分析儀(WAOL);
 

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SUSSMicroTec為熱門化合物半導體工藝專門設計了一款新型光刻平臺:MA100/150eGen2
SUSS 掩模對準器 MA100/150e Gen2 產(chǎn)品詳情

SUSS MicroTec為熱門化合物半導體工藝專門設計了一款新型光刻平臺:MA100/150e Gen2?;衔锇雽w工藝,是指諸如高亮發(fā)光二極管(HB-LEDs)、功率器件、RF-MEMS等方面的半導體應用。MA100/150e Gen2具備高精度對準功能,上至0.7µm的光刻分辨率,擁有為易碎、翹曲或透明晶圓片定制的傳載系統(tǒng)等強大功能和配置,足以應對LED制造領域目前所有的工藝難題。它的推出將幫助客戶提高制造效率,并有效降低成本。

基于SUSS MicroTec的光刻機經(jīng)典設計,MA100/150e Gen2提供了的工藝延展性,使客戶能夠?qū)⑿碌男酒O計快速投入市場,其光刻作業(yè)產(chǎn)量高達每小時145片。

MA100/150e Gen2針對上至4英寸的小尺寸晶圓片進行了特別優(yōu)化設計。系統(tǒng)可以穩(wěn)定地達到優(yōu)于0.7µm的對準精度(直接對準)。選配的底部對準功能(BSA),對準精確度優(yōu)于±1.5 µm。MA100/150e的對準單元針對LED制造工藝要求進行了特別調(diào)校,透明和表面粗糙的晶圓片都能獲得的對比度。

SUSS MA100/150e Gen2 掩模對準器

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