ASML i-line光刻機(jī)PAS 5500/450F是i-line步進(jìn)器系列的、的產(chǎn)品之一。這種大規(guī)模生產(chǎn)工具是用于非關(guān)鍵應(yīng)用的 PAS 5500/400 的繼任者。該工具已擴(kuò)展到i 線至 220nm。PAS 5500/450F 將可變 0.48-0.65-NA Carl Zeiss Starlith 4X 縮小鏡頭的成像能力與高速掃描臺相結(jié)合,提供具有擁有價值的高生產(chǎn)率工具,以實現(xiàn)產(chǎn)量。該系統(tǒng)可配置以滿足生產(chǎn)要求,并在大批量生產(chǎn)環(huán)境中提供易于制造和成本效益。PAS 5500/450F 繼續(xù)提高 200 毫米平版印刷市場的成像性能和生產(chǎn)力標(biāo)準(zhǔn)。