液體流量計(jì)UCUF-E系列東京計(jì)裝TOKYOKEISO
液體超聲波流量計(jì)UCUF-E系列，UCUF-K系列
液體流量計(jì)UCUF-E系列東京計(jì)裝TOKYOKEISO
液體流量計(jì)UCUF-E系列東京計(jì)裝TOKYOKEISO
液體超聲波流量計(jì)UCUF-E系列，UCUF-K系列
產(chǎn)品介紹
UCUF-E系列液體超聲波流量計(jì)專(zhuān)為測(cè)量超純水和各種化學(xué)液體的小流量而設(shè)計(jì)，由UCUF-E型檢測(cè)器和SFC型轉(zhuǎn)換器組成。
UCUF 型檢測(cè)器的所有接液部件均采用半導(dǎo)體行業(yè)用 PFA 制成，沒(méi)有活動(dòng)部件，也沒(méi)有
O 形圈等容易積液的機(jī)械密封。由于其理想的清潔結(jié)構(gòu)，該流量計(jì)非常適用于要求高清潔度的過(guò)程，例如半導(dǎo)體設(shè)備。
SFC 型轉(zhuǎn)換器極大地降低了流體中含有的氣泡的影響，這曾經(jīng)是半導(dǎo)體工藝、化學(xué)液體工藝等中的一個(gè)問(wèn)題。配備消除流體動(dòng)力粘度影響的修正功能，支持各種類(lèi)型的化學(xué)品。通過(guò) RS485 通信功能可以集中控制過(guò)程。
特征
EMC標(biāo)準(zhǔn)：EN61326-1:2013/EN61326-2-3:2013
符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
采用帶連接器結(jié)構(gòu)的可拆卸傳感器電纜
測(cè)量運(yùn)動(dòng)粘度高達(dá) 40 mm2/s 的高粘度流體
指示值±1%以內(nèi)的精度（流速1m/s以上時(shí)）
寬量程（100:1 典型值）
具有理想清潔結(jié)構(gòu)的探測(cè)器
耐腐蝕且易于安裝
主要用途
半導(dǎo)體制造過(guò)程中純水和超純水的流量測(cè)量
各種藥液注入工藝的流量測(cè)量
強(qiáng)腐蝕性液體的流量測(cè)量
CMP 漿料流量測(cè)量
其他中小口徑過(guò)程液體流量測(cè)量
適用于清洗設(shè)備和 CMP 設(shè)備的流量測(cè)量和控制
UCUF-K系列液體超聲波流量計(jì)是為測(cè)量超純水和各種化學(xué)液體的小流量而設(shè)計(jì)的，由UCUF-K型檢測(cè)器和SFC型轉(zhuǎn)換器組成。UCUF 型檢測(cè)器的所有接液部件均采用半導(dǎo)體行業(yè)用 PFA 制成，沒(méi)有活動(dòng)部件，也沒(méi)有 O 形圈等容易積液的機(jī)械密封。由于其理想的清潔結(jié)構(gòu)，該流量計(jì)非常適用于要求高清潔度的過(guò)程，例如半導(dǎo)體設(shè)備。
特征
EMC標(biāo)準(zhǔn)：EN61326-1:2013/EN61326-2-3:2013
符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
測(cè)量運(yùn)動(dòng)粘度高達(dá) 40 mm2/s 的高粘度流體
指示值±1%以內(nèi)的精度（流速1m/s以上時(shí)）
寬量程（100:1 典型值）
具有理想清潔結(jié)構(gòu)的探測(cè)器
耐腐蝕且易于安裝
主要用途
半導(dǎo)體制造過(guò)程中純水和超純水的流量測(cè)量
各種藥液注入工藝的流量測(cè)量
強(qiáng)腐蝕性液體的流量測(cè)量
CMP 漿料流量測(cè)量
其他中小口徑過(guò)程液體流量測(cè)量
適用于清洗設(shè)備和 CMP 設(shè)備的流量測(cè)量和控制
