PAS5500/8TFH-A KrF步進(jìn)掃描系統(tǒng)是一種專用的光刻工具，用于在125毫米、150毫米和200mmAlTiC晶片上生產(chǎn)薄膜頭(TFH)。
TFH環(huán)境的PAS主體和特定校準(zhǔn)改進(jìn)，是為當(dāng)前和未來的技術(shù)節(jié)點(diǎn)的TFH生產(chǎn)制定了新的標(biāo)準(zhǔn)。
TFH制造涉及打印小于100納米的隔離特征，這要求極低鏡頭像差水平。PAS 5500/8TFH-A使用經(jīng)驗(yàn)證的超低像差KrF鏡頭，該鏡頭來自PAS主體上的XT平臺(tái)，確保了優(yōu)異的性能和較低的擁有成本。AlTiC晶圓的低導(dǎo)熱性意味著軌道上的吞吐量受到限制，使PAS 5500/8TFH有更多的時(shí)間用于對(duì)準(zhǔn)和晶圓穩(wěn)定。此外，PAS 5500/8TFH-A進(jìn)一步改善了動(dòng)態(tài)性能。
總之，這些將在AlTiC晶圓上實(shí)現(xiàn)業(yè)界的覆蓋和縫合性能。
主要性能和優(yōu)勢：
智能啟動(dòng)
通過作業(yè)定義，實(shí)現(xiàn)用戶定義的晶圓容納、X中的曲折布線和系統(tǒng)啟動(dòng)，結(jié)合TFH特定的離線數(shù)據(jù)分析軟件，為小批量AlTiC晶圓提供穩(wěn)定的生產(chǎn)性能。
成熟的AlTiC晶圓處理
成熟的1.2 mm厚（125 mm、150 mm或200 mm直徑）和2.0 mm厚（125 mm和150 mm直徑）AlTiC晶片處理能力。
KrF Starlith 870投影鏡頭，可變NA高達(dá)0.80
超低像差水平可實(shí)現(xiàn)90 nm以下的隔離線成像
聯(lián)通、ADE
UNICOM支持自動(dòng)優(yōu)化每個(gè)照明設(shè)置的狹縫均勻性。同時(shí)，自動(dòng)DOE交換器（ADE）最多可容納5個(gè)衍射光學(xué)元件（DOE）
PAS 5500步進(jìn)掃描機(jī)身
改進(jìn)的動(dòng)力學(xué)和干涉儀控制可實(shí)現(xiàn)的性能。
多次曝光技術(shù)
使用多個(gè)遮罩啟用不同的照明模式和成像設(shè)置，并允許用戶定義的圖像序列順序。
