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ASML二手現(xiàn)貨光刻機(jī)XT:1000H

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  • 產(chǎn)品數(shù)量441
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公司主營實(shí)驗(yàn)室分析檢測儀器設(shè)備,以實(shí)驗(yàn)室整體建設(shè)為發(fā)展方向。公司目前涉及電子電器、醫(yī)藥生物、石油化工、食品、機(jī)械、新材料、環(huán)境、科研高校等諸多領(lǐng)域。聯(lián)合山東醫(yī)藥化工設(shè)計(jì)院,美國安捷倫、美國熱電、日本島津、江蘇天瑞等眾多品牌及多個(gè)***重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室從實(shí)驗(yàn)室布局設(shè)計(jì)出圖、基礎(chǔ)設(shè)施建設(shè)、儀器設(shè)備供應(yīng)、方法開發(fā)建立、后期運(yùn)營管理,形成完整的專業(yè)實(shí)驗(yàn)室建設(shè)體系,達(dá)到一站式服務(wù),為眾多行業(yè)客戶提供更為完善的整體解決方案。
公司主營產(chǎn)品分為四大類,光譜儀、色譜儀、質(zhì)譜儀和環(huán)境在線檢測。
能量色散X熒光光譜儀(EDX)、波長色散X熒光光譜儀(WDX)、等離子體發(fā)射光譜儀(ICP)
、光電直讀光譜儀(OES)、原子吸收分光光度計(jì)(AAS)、原子熒光光譜儀(AFS)、拉曼光譜儀(Raman)、碳硫分析儀(CS)、紅外光譜儀、礦漿載流分析儀(OSA)、氣相色譜儀(GC)、液相色譜儀(LC)、氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀(GC-MS)、液相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀(LC-MS)、電感耦合等離子體質(zhì)譜儀(ICP-MS)、水質(zhì)在線分析儀(WAOL);
 

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TWINSCANXT:1000H248nm步進(jìn)掃描系統(tǒng)是一種新型雙級(jí)KrF光刻工具,具有業(yè)界的NA和生產(chǎn)率,設(shè)計(jì)用于200mm和300mm晶圓生產(chǎn)
ASML二手現(xiàn)貨光刻機(jī)XT:1000H 產(chǎn)品詳情

TWINSCAN XT:1000H 248 nm步進(jìn)掃描系統(tǒng)是一種新型雙級(jí)KrF光刻工具,具有業(yè)界的NA和生產(chǎn)率,設(shè)計(jì)用于200 mm和300 mm晶圓生產(chǎn)。

XT:1000H將可變0.93-NA卡爾蔡司Starlith 4X縮小鏡頭的成像能力與Air-E照明器技術(shù)相結(jié)合,將經(jīng)過體積驗(yàn)證的KrF技術(shù)擴(kuò)展到<80 nm分辨率。擴(kuò)展關(guān)鍵KrF技術(shù)可降低客戶的每層成本,同時(shí)受益于成熟的KrF處理。采用變頻控制的高線寬窄化40-W KrF激光器,結(jié)合光學(xué)系統(tǒng)的高光傳輸,以盡可能最低的操作成本提供165 300 mm wph的生產(chǎn)吞吐量

XT:1000H是4X nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)及以上的金屬、通孔和植入層的理想選擇,包括內(nèi)存和邏輯應(yīng)用。此外,還提供了與其他TWINSCAN KrF系統(tǒng)的圖像匹配,以及與TWINSCAN ArF和KrF系統(tǒng)的出色疊加匹配,實(shí)現(xiàn)了在大批量制造環(huán)境中的無縫集成。


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