SATOVAC佐藤真空RT-8SV型真空度校正儀
SATOVAC佐藤真空RT-8SV型真空度校正儀
本公司的真空計(jì)系列產(chǎn)品涵蓋從大氣壓力到高真空區(qū)域(101kpa ~ 1x10 - 7pa)的多種型號(hào),每種型號(hào)都有數(shù)字和模擬型號(hào),包括規(guī)格、環(huán)保、可以根據(jù)使用方便程度等選擇最合適的機(jī)型。
PG-D5A,PVD-9500-7,PG-20B,PG-3PM,PG-2BM,PG-3FM,IG-D7A,CR-D8A,CR- 2PM,CR-1N,VGS-240,
真空度校正裝置RT-8SV型
雖說(shuō)是真空度測(cè)量,但既有接近大氣壓的地方,也有超高真空的地方,一種真空計(jì)根本無(wú)法覆蓋。真空裝置內(nèi)殘留氣體的成分多種多樣。其中對(duì)真空計(jì)有負(fù)面影響的代表性的是油蒸汽等有機(jī)物蒸汽、氧氣、水蒸氣等。在低真空中空氣殘留的情況很多,但是在中真空和高真空中油蒸汽的比例會(huì)增加。另外,像凍干那樣主要處理水蒸氣的真空裝置也不少。真空計(jì)的使用條件多種多樣,因此在選定真空計(jì)時(shí),除了測(cè)量壓力區(qū)域、對(duì)象氣體外,還需要確認(rèn)以下各項(xiàng)。1.確認(rèn)在想要進(jìn)行測(cè)量的壓力區(qū)域是否可以使用,可測(cè)極限產(chǎn)生的原因。2.測(cè)量對(duì)象所考慮的氣體是否會(huì)使真空計(jì)污損、破損。3.精度夠不夠?儀表大嗎?原理上也沒(méi)有問(wèn)題嗎?4.真空計(jì)是否會(huì)影響氣體的狀態(tài)。是否會(huì)對(duì)測(cè)量對(duì)象的氣體進(jìn)行熱分解,或根據(jù)反應(yīng)改變其組成?5.能進(jìn)行全壓測(cè)量嗎?靈敏度是否因氣體種類而異?6.是連續(xù)指示還是電氣指示?能得到電輸出嗎?7.響應(yīng)時(shí)間是否短。8.穩(wěn)定性、再現(xiàn)性、可靠性、壽命是否足夠。9.安裝,操作,保養(yǎng),管理容易嗎?有無(wú)市面上出售的商品,入手的難易程度,價(jià)格等。
日本的真空度標(biāo)準(zhǔn)(1次標(biāo)準(zhǔn))是設(shè)置在產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所的光波干涉式標(biāo)準(zhǔn)氣壓計(jì)(大氣壓力~ 102pa,不確定度±0.7Pa),該電子技術(shù)綜合研究所設(shè)置的標(biāo)準(zhǔn)麥克勞德真空計(jì)(1.3 ~ 1.3×10- 2pa,不確定度±2%)為基準(zhǔn)。標(biāo)準(zhǔn)麥克勞德真空計(jì)的校正是針對(duì)日本真空協(xié)會(huì)委托的副標(biāo)準(zhǔn)電離真空計(jì)用球VS-1實(shí)施的,校正后的真空計(jì)是2次標(biāo)準(zhǔn)(使用壓力范圍為2.7×10-1 ~ 1.3×10- 4pa,不確定度±3%,是可靠的可用真空計(jì)。通常將其作為標(biāo)準(zhǔn),用于校正其他實(shí)用真空計(jì)。校正法在JISZ8750中有詳細(xì)說(shuō)明,在10- 2pa ~ 10- 7pa附近的用途中,制造商使用VS-1校正的B-A真空計(jì)在市場(chǎng)上銷售。如果用這樣的方法校正靈敏度,實(shí)際使用的各個(gè)真空計(jì)的靈敏度就能達(dá)到國(guó)家1次標(biāo)準(zhǔn)。當(dāng)形成這樣的體系時(shí),就被評(píng)價(jià)為確立了可追溯性。