Nordson DAGE 4800 采用*的晶圓測(cè)試技術(shù)，可用于測(cè)試200毫米至450毫米的晶圓。將成熟的技術(shù)與的Paragon自動(dòng)化軟件相結(jié)合，可提供優(yōu)秀的準(zhǔn)確性、可重復(fù)性和結(jié)果穩(wěn)定性。
的品質(zhì)
◆ 良好的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性確保您對(duì)測(cè)試結(jié)果的質(zhì)量充滿信心。
最終退后精度
◆ 剪切高度的控制(復(fù)位)對(duì)剪切應(yīng)用中一致性的測(cè)試結(jié)果至關(guān)重要。Nordson DAGE的復(fù)位系統(tǒng)有助于設(shè)置和控制剪切高度，從而使復(fù)位精度達(dá)到+/- 0.25微米。
高級(jí)成像
◆ 一系列功能強(qiáng)大的攝像頭和光學(xué)系統(tǒng)優(yōu)化加載工具對(duì)準(zhǔn)、自動(dòng)編程和測(cè)試分析。
垃圾清理站
◆ 快速高效地從推刀及夾爪中自動(dòng)清除殘?jiān)?/p>
的雙顯微鏡裝置
◆ 4800 焊接強(qiáng)度測(cè)試儀的*光學(xué)器件與顯微鏡的雙減振裝置和可調(diào)式視窗相結(jié)合，可提供優(yōu)秀的圖像穩(wěn)定性
小尺寸精準(zhǔn)定位
◆ 的矢量微調(diào)控制，提供具有可編程的微動(dòng)按鈕的小鍵盤(pán)操作，精確的步進(jìn)移動(dòng)，以確保最終的位置精度
自動(dòng)化測(cè)試
◆ 自動(dòng)化的測(cè)試程序可以配置使用直觀的晶圓映射模塊在選定的或隨機(jī)的模具上運(yùn)行一組測(cè)試。協(xié)助用戶從加載到結(jié)果，包括：攝像頭對(duì)位、失效模式判定和圖形數(shù)據(jù)展示
*的全自動(dòng)晶圓測(cè)試技術(shù)
◆ 用于高倍光學(xué)顯微鏡的雙臂裝置
◆ 可互換的測(cè)試模組包括獲得的多功能測(cè)試模組(MFC)和的高精度拔球測(cè)試模組
◆ 自動(dòng)邊緣升降智能晶圓載盤(pán)和高精度XY工作平臺(tái)，具有亞微米級(jí)分辨率和可重復(fù)性
◆ 創(chuàng)建晶圓圖和導(dǎo)航圖
◆ 集成圖像采集和側(cè)面對(duì)位攝像頭
◆ 集成的殘?jiān)宄ぷ髡驹跍y(cè)試期間自動(dòng)清理推刀及夾爪上的殘?jiān)?/p>
主要特性
◆ 晶圓從暗盒到焊接強(qiáng)度測(cè)試儀的半自動(dòng)化處理
◆ 半自動(dòng)化凸塊剪切力測(cè)試
◆ 測(cè)試的晶圓返回暗盒的半自動(dòng)化轉(zhuǎn)移
◆ 晶圓定位和安全連鎖
◆ 自動(dòng)進(jìn)行暗盒掃描以檢查晶圓位置以及是否存在任何十字形開(kāi)槽的晶圓
◆ 自動(dòng)化的凸塊剪切力程序(不需要攝像系統(tǒng))
◆ 由 240 毫米操縱桿控制的精確 XY 工作平臺(tái)
規(guī)格描述：
◆ 產(chǎn)品尺寸： 1075mm x 980mm x 855mm (ex PC)
◆ 重量： 170Kg
◆ 電源： 90 - 264V AC， 47 - 63 Hz，單相，通用
◆ 供氣： 最小4巴，外徑6mm /內(nèi)徑4mm的塑料管
◆ 供真空： 最小67kPa，外徑6mm /內(nèi)徑4mm的塑料管材
◆ 接口： USB, Gigabit Ethernet/千兆網(wǎng)口
