適用標(biāo)準(zhǔn):
GB/T 28726—2012《氣體分析-氦離子化氣相色譜法》
<高純氣標(biāo)準(zhǔn)>
GB/T 8979-2008《高純氮》 GB/T 14599-2008《高純氧》
GB/T 4844.3-1995 《高純氦》 GB/T 4842-2006《氬》
GB/T 7445-1995 《純氫、高純氫、超純氫》 GB/T 17873-1999《純氖》
GB/T 5829-1995《氪氣》 GB/T 5828-1995《氙氣》
HG/T 3633-1999《純甲烷》 GB 10621-2006《食品添加劑 液體二氧化碳》
<電子氣標(biāo)準(zhǔn)>
GB/T 16942-2009《電子工業(yè)用氣體 氫》 GB/T 16943-2009《電子工業(yè)用氣體 氦》
GB/T 16944-2009《電子工業(yè)用氣體 氮》 GB/T 16945-2009《電子工業(yè)用氣體 氬》
GB/T 14604-2009《電子工業(yè)用氣體 氧》 GB/T 14600-2009《電子工業(yè)用氣體 氧化氬氮》
GB/T 15909-2009《電子工業(yè)用氣體 硅烷》 GB/T 21287-2007《電子工業(yè)用氣體 三氟化氮》
主要特點(diǎn):
1. 操作自動(dòng)化程度高,用戶只需按動(dòng)一次啟動(dòng)鍵,即可完成樣品分析;
2. 采用了高靈敏度氦離子化檢測(cè)器,該檢測(cè)器對(duì)各痕量組分的檢測(cè)靈敏度如下表所示;
雜質(zhì)種類 | H2 | O2 | N2 | CH4 | CO | CO2 | |
檢測(cè)限(ppb) | 5 | 10 | 10 | 5 | 25 | 5 |
4. 所采用的進(jìn)樣閥及切換閥均為進(jìn)口帶吹掃功能的產(chǎn)品,在保證儀器耐用性的同時(shí),消除了空氣滲漏對(duì)樣品分析結(jié)果的影響;
5. 所有的接頭及管線均經(jīng)過拋光處理,且接頭處經(jīng)高精度加工處理,一是為防止氣體泄漏,二是將系統(tǒng)死體積降至,三是減小某些痕量組分的吸附。另外,色譜柱兩端的密封方式為VCR密封,其他接頭均采用鍍金卡套密封,泄漏量比普通卡套形式低一個(gè)數(shù)量級(jí);
6. 采用背壓閥控制的升壓進(jìn)樣方式,能夠消除進(jìn)樣波動(dòng)并獲得相對(duì)較高的分析靈敏度;
7. 所有管線,包括色譜柱管,均采用VICI產(chǎn)品,保證管壁光潔度;
8. 儀器配備有專用的載氣減壓器、進(jìn)口載氣純化器及采樣器,保證分析結(jié)果的準(zhǔn)確性;
9. 可配備我公司的氧氬分離組件,用于分析氬氣之外樣品氣中氧及氬含量,尤其在分析高純氧中雜質(zhì)含量時(shí),無需采用脫氧裝置,能夠大大減少維護(hù)工作量。
技術(shù)指標(biāo):
主要參數(shù) | 參數(shù)范圍 |
測(cè)量范圍 | 0~1000ppm |
檢出限 | <10ppb CH4 |
重復(fù)性 | ≤2% |
輸出 | MODBUS |
電源 | AC220V/50Hz |
工作環(huán)境 | 5~35°C,20~90% RH |
氣體接口 | 1/8”不銹鋼卡套 |
重量 | 75KG |
外形尺寸(長×寬×高) | 570 mm×552 mm×465 mm |
應(yīng)用實(shí)例:
1、高純二氧化碳中雜質(zhì)分析(各組分濃度均近10 ppm)
2、高純氮?dú)庵须s質(zhì)分析(各組分濃度均近5 ppm)
3、高純氧氣中雜質(zhì)分析(各組分濃度均近10 ppm)
4、高純氬氣中雜質(zhì)分析(各組分濃度均近10 ppm)