Zeta光學(xué)輪廓儀Zeta-600基礎(chǔ)參數(shù)
型號:Zeta-600
產(chǎn)品:光學(xué)輪廓儀/表面輪廓測試系統(tǒng)/LED pss 圖像處理設(shè)備
品牌:Zeta澤塔
簡介:用于PCB/FPC自動計量解決方案
Zeta光學(xué)輪廓儀Zeta-600簡介
zeta-600光學(xué)輪廓儀是一種全自動非接觸、快速三維測量系統(tǒng)量身打造的PCB和FPC的需求。它可以處理高達(dá)610×510mm樣品的各種應(yīng)用,如孔、粗糙度、導(dǎo)線高度、V-CUT以及膜厚?;趯S械?/span>zdot™的zeta-600圖像分析技術(shù),對各類樣品的表面特征:光滑到粗糙,低反射率,反射率高,透明到不透明。
zeta-600簡單操作
zeta3d軟件具有簡單和直觀的用戶界面,數(shù)據(jù)采集和分析。工程師和運(yùn)營商的一個簡短的學(xué)習(xí)曲線,以更好的生產(chǎn)力。
zeta-600全自動和快速
全集成,全自動化,一鍵式計量解決方案。高分辨率的三維光學(xué)輪廓儀小于36秒,每測量。通孔、粗糙度、導(dǎo)線高度、V-CUT及膜厚不卸載樣品和移動到一個新的工具的需要量
610mmx510mm樣品的zeta-600最多可以處理610mmx510mm樣品。它非常適合PCB/FPC計量需求。
Zeta光學(xué)輪廓儀Zeta-600技術(shù)規(guī)格
1 1 / 3“0.5X耦合攝像鏡頭
2 2 / 3“0.35X耦合攝像鏡頭
3靜態(tài)重復(fù)性基于VLSI 0.94μm臺階高度標(biāo)準(zhǔn),100X / 0.9n
目的,壓階段,與標(biāo)準(zhǔn)zdot成像模式
技術(shù)規(guī)格:zeta-600
尺寸(mm) 系統(tǒng)(寬):1003 x 1003 x 1667
重量:500磅(278kg)
zeta-600操作規(guī)范
電壓:100 - 230伏
電流:4A
操作溫度:18-30°C,非冷凝,±°C每小時1
Zeta-600系統(tǒng)的特點(diǎn)
相機(jī)選項(xiàng):1024x768 1280x960,1920x1440
放大倍數(shù):25000x結(jié)合光學(xué)與數(shù)字
照明:兩(2)超亮白光LED
機(jī)動化階段:610×510mm XY旅游
Z軸行程:40mm
隔振:內(nèi)置
真空(可選):600毫米汞柱
Zeta-600性能規(guī)格
計量:<36秒/網(wǎng)站(zdot™)
電影:每個網(wǎng)站~ 3秒(ZFT)
像素分辨率:0.09μ
民z-step:2 nm與壓電階段13納米標(biāo)準(zhǔn)Z驅(qū)動
z軸分辨率:1?zsi選項(xiàng)
13納米標(biāo)準(zhǔn)zdot
±Z精度:0.5%
repeatability1:±30 nm(1σ)