泰克Keithley 6400 系列皮安表
經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的 5? 位 6485 型皮安表可以測(cè)量 10fA 至 20mA 的電流，速度高達(dá)每秒 1000 個(gè)讀數(shù)。6487 型皮安表/電壓提供比 6485 更高的精度和更快的上升時(shí)間、一個(gè) 500V 源以及一種與電容設(shè)備配合使用的阻尼功能。6482 型雙通道皮安表/電壓源提供比 6485 型或 6487 型更高的測(cè)量分辨率和雙獨(dú)立 30V 電壓偏置源。
特點(diǎn) | 優(yōu)勢(shì) |
| 電流分辨率低至 1fA (6482) | 可測(cè)量元器件中的超低漏電流、光學(xué)器件中的暗電流以及顯微儀器中的射束電流。 |
| 輸入端壓降低至 200μV | 可以進(jìn)行高精度電流測(cè)量，即使在源電壓非常低的電路中也可以測(cè)量。 |
| 雙通道測(cè)量 (6482) | 簡(jiǎn)化了分析多通道設(shè)備、監(jiān)視材料上多個(gè)位置的電流以及一次性記錄來(lái)自多個(gè)傳感器的數(shù)據(jù)的過(guò)程。 |
| 有 0、1 或 2 個(gè)內(nèi)置電壓源可供選擇 | 確保您可以找到適合應(yīng)用要求的電壓偏置功能。 在 6487 型皮安表/電壓源中通過(guò) 500V 源進(jìn)行絕緣電阻測(cè)試。 |
| 內(nèi)置模擬輸出 | 允許將測(cè)量結(jié)果傳輸?shù)綌?shù)字萬(wàn)用表、數(shù)據(jù)采集卡、示波器或帶形圖紙記錄儀等設(shè)備，以進(jìn)行信號(hào)響應(yīng)和趨勢(shì)分析。 |
| 測(cè)量高達(dá) 20mA 的電流 | 支持測(cè)量高電流，比如測(cè)量 4-20mA 傳感器回路。 |
| 每秒 1,000 個(gè)讀數(shù) | 支持高吞吐量生產(chǎn)測(cè)試需求。 |
| 內(nèi)置觸發(fā)鏈路接口 | 簡(jiǎn)化了通過(guò)將六個(gè)獨(dú)立可選的觸發(fā)線路結(jié)合在一個(gè)單一的連接器上，對(duì)系統(tǒng)中的所有儀器進(jìn)行簡(jiǎn)單、直接的控制，從而實(shí)現(xiàn)與其他儀器和電壓源同步的過(guò)程。 |
6482型雙通道皮安表/電壓源提供兩個(gè) 獨(dú)立的皮安表/電壓源通道，適合需要雙通 道測(cè)量的多種低電平測(cè)量應(yīng)用。該產(chǎn)品在 測(cè)量能力已被證明的吉時(shí)利6485型5位半皮 安表的基礎(chǔ)上，提高了測(cè)量分辨率，增加 了一個(gè)第二測(cè)量通道以及兩個(gè)獨(dú)立的30V電 壓偏置源。
由于具有雙通道測(cè)量能力，6482型雙 通道皮安表/電壓源成為一個(gè)強(qiáng)大的測(cè)量 工具，適合分析多通道器件，監(jiān)控材料中 多個(gè)位置的電流，并立即記錄來(lái)自多傳感 器的數(shù)據(jù)。雙通道能力更容易實(shí)現(xiàn)控制和 數(shù)據(jù)聚集。更高的通道密度增加了受限空 間內(nèi)的儀器數(shù)量（和通道）。
主要特點(diǎn):
雙通道6位半測(cè)量能力
雙±30V偏置電源
測(cè)量電流高達(dá)20mA
測(cè)量電流分辨率1fA
0–10V模擬輸出用于高分辨率 測(cè)量反饋
支持裝配工藝、最終測(cè)試、部件 binning和技術(shù)規(guī)范
每通道具3000點(diǎn)緩存，支持測(cè)試 完成后數(shù)據(jù)發(fā)送
觸發(fā)連接，用于器件進(jìn)倉(cāng)與掃描 測(cè)試操作
IEEE-488與RS-232接口
應(yīng)用
制造元器件測(cè)試
雙二極管測(cè)試
半導(dǎo)體器件測(cè)試
多引腳器件測(cè)試
離子束監(jiān)測(cè)
電子顯微鏡
可編程限幅和濾波器
與吉時(shí)利絕大部分儀器一樣，對(duì)于6482型雙通道皮安表/電壓源的電流和電壓 極限限幅，可以進(jìn)行編程，以確保關(guān)鍵點(diǎn)（如測(cè)試開(kāi)始）期間的器件保護(hù)。這些儀 器還提供均值與中值濾波器，可以用于將數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在緩存中。
比率測(cè)量或σ測(cè)量
6482型雙通道皮安表/電壓源可以在兩個(gè)隔離的通道之間提供比例測(cè)量或 σ測(cè)量。通過(guò)前面板或GPIB接口可以接入這些功能。對(duì)于包括多個(gè)探頭的測(cè)試設(shè) 置，這個(gè)功能支持目標(biāo)控制能力。
擴(kuò)展測(cè)試和測(cè)量靈活性的特點(diǎn)
? 按比例的電壓模擬輸出。此輸出允許6482型皮安表將測(cè)量結(jié)果發(fā)送至數(shù)字多用 表（DMM）、數(shù)據(jù)采集板、示波器或長(zhǎng)圖記錄儀等設(shè)備。
? 220V過(guò)載保護(hù)。高負(fù)載保護(hù)和堅(jiān)固設(shè)計(jì)能讓6482型皮安表耐受過(guò)量溢出。
? 一鍵式前面板設(shè)計(jì)。按一次按鈕就能輕松配置功能，無(wú)需復(fù)雜的功能菜單。
? 內(nèi)建觸發(fā)鏈路接口。觸發(fā)鏈路接口簡(jiǎn)化了6482型皮安表與其它儀器及電壓源的 同步。此接口在單個(gè)連接器上結(jié)合了6種單獨(dú)可選的觸發(fā)線路，以實(shí)現(xiàn)輕松、 直接地控制系統(tǒng)中的全部?jī)x器。
? RS-232和IEEE-488接口。這些接口能輕松將6482型皮安表集成進(jìn)自動(dòng)測(cè)試和測(cè) 量系統(tǒng)中。
? 顯示on/off開(kāi)關(guān)。對(duì)于光敏器件的研究，如測(cè)量光電二極管的暗電流，可以關(guān) 閉前面板顯示，以防引入光線而導(dǎo)致測(cè)量結(jié)果準(zhǔn)確性大幅降低。
? REL和LOG功能。6482型皮安表能針對(duì)基線值進(jìn)行相對(duì)讀數(shù)，或者顯示測(cè)量電流 值的對(duì)數(shù)。
? 后面板三同軸輸入。三同軸輸入確保的噪聲保護(hù)。其包括的Triax-BNC適 配器，允許在不太介意噪聲的現(xiàn)場(chǎng)部署便宜易用的BNC電纜。
技術(shù)指標(biāo)適用的條件
本文介紹了6482型雙通道皮安表/電壓源的技術(shù)指標(biāo)和補(bǔ)充說(shuō)明。這些技術(shù)指標(biāo)是測(cè)試6482型雙通道皮安表/ 電壓源依據(jù)的標(biāo)準(zhǔn)。在出廠時(shí)，6482型雙通道皮安表/電壓源符合這些技術(shù)指標(biāo)。補(bǔ)充說(shuō)明和典型值不在質(zhì)保范 圍內(nèi)，適用于23°C，僅用作有效信息。
精確技術(shù)指標(biāo)適用于普通模式和高電容模式。
6482型儀表提供兩個(gè)獨(dú)立的皮安表/電壓源通道，適合多種測(cè)量應(yīng)用。在6482型儀表的背板上包括每個(gè)通道 的模擬輸出插孔。
這些源和測(cè)量精度在下列條件下適用于6482型終端。
1. 23°C ±5°C，相對(duì)濕度<>
2. 經(jīng)過(guò)1小時(shí)的預(yù)熱
3. 普通速度（1 NPLC）
4. 啟用A/D自動(dòng)調(diào)零
5. 歸零局部操作
6. 校準(zhǔn)周期=1年
測(cè)量技術(shù)指標(biāo)1
| 量程 | 分辨率 | 精度 1, 2 23° ±5°C ±(% rdg +補(bǔ)償) | 溫度系數(shù) 0–18°C & 28–50°C ±(%rdg + 補(bǔ)償)/°C | 直流輸入 阻抗 3 （值） |
| 2.000000 nA | 1 fA | 1.00% + 2 pA | 0.01 + 200 fA | 20kΩ |
| 20.00000 nA | 10 fA | 0.40% + 2 pA | 0.01 + 200 fA | 20kΩ |
| 200.0000 nA | 100 fA | 0.30% + 200 pA | 0.02 + 20 pA | 200 Ω |
| 2.000000 µA | 1 pA | 0.20% + 200 pA | 0.02 + 20 pA | 200 Ω |
| 20.00000 µA | 10 pA | 0.10% + 20 nA | 0.01 + 2 nA | 2.0 Ω |
| 200.0000 µA | 100 pA | 0.10% + 20 nA | 0.01 + 2 nA | 2.0 Ω |
| 2.000000 mA | 1 nA | 0.10% + 2 µA | 0.02 + 200 nA | 0.2 Ω |
| 20.00000 mA | 10 nA20.00000 mA | 0.10% + 2 µA | 0.02 + 200 nA | 0.2 Ω |
電壓偏移技術(shù)指標(biāo)
| 量程 | 分辨率 | 精度 23°C ±5°C | 電流 | 負(fù)載調(diào)整率4 | 溫度系數(shù) |
| ±10 V | <400> | ±(設(shè)置的0.15% + 5 mV) | 20 mA | < 0.30%,="" 0="" -="" 20=""> | 150 ppm/°C |
| ±30 V | <4> | ±(設(shè)置的0.3% + 50 mV) | 20 mA | < 0.30%,="" 0="" -="" 20=""> | 300 ppm/°C |
模擬輸出技術(shù)指標(biāo)
輸出電壓量程(輸出是反相的) 2: 對(duì)于正滿量程輸入，電壓輸出量程為–10V；對(duì)于負(fù)滿量程輸入，電壓輸出 量程為+10V。
輸出阻抗: 1kΩ（典型值）
| 量程 | 精度 23° ±5°C ±(% rdg +補(bǔ)償) | 溫度系數(shù) 0–18°C & 28–50°C ±(%rdg + 補(bǔ)償)/°C | 典型上升時(shí)間 (10% to 90%) |
| 2.000000 nA | 6.0% + 90 mV | 0.30% + 7 mV | 6.1 ms |
| 20.00000 nA | 3.0% + 9 mV | 0.11% + 700 µV | 6.1 ms |
| 200.0000 nA | 6.0% + 90 mV | 0.30% + 4 mV | 395 µs |
| 2.000000 µA | 3.0% + 9 mV | 0.11% + 400 µV | 395 µs |
| 20.00000 µA | 6.0% + 90 mV | 0.30% + 4 mV | 135 µs |
| 200.0000 µA | 2.5% + 9 mV | 0.11% + 400 µV | 135 µs |
| 2.000000 mA | 6.0% + 90 mV | 0.30% + 4 mV | 21 µs |
| 20.00000 mA | 2.5% + 9 mV | 0.11% + 400 µV | 21 µs |
典型本底噪聲測(cè)量的技術(shù)指標(biāo)
| 典型本底噪聲 RMS (1 STDEV), 100個(gè)樣本 | ||||
| 量程 | 0.01 NPLC | 0.1 NPLC | 1.0 NPLC | 10 NPLC |
| 2.000000 nA | 2.5 pA | 1.5 pA | 45 fA | 15 fA |
| 20.00000 nA | 2.5 pA | 1.5 pA | 45 fA | 15 fA |
| 200.0000 nA | 200 pA | 120 pA | 2 pA | 500 fA |
| 2.000000 µA | 200 pA | 120 pA | 2 pA | 500 fA |
| 20.00000 µA | 20 nA | 12 nA | 200 pA | 50 pA |
| 200.0000 µA | 20 nA | 12 nA | 200 pA | 50 pA |
| 2.000000 mA | 2 µA | 1.5 µA | 25 nA | 5 nA |
| 20.00000 mA | 2 µA | 1.5 µA | 25 nA | 5 nA |
典型速度與噪聲抑制
| 讀數(shù)/秒 | ||||
| 分辨率 | GPIB(SCPI) | GPIB(488.1) | NPLC | NMRR |
| 4位半 | 700 | 900 | 0.01 | — |
| 5位半 | 60 | 475 | 0.1 | — |
| 6位半 | 58 | 58 | 1 | 60 dB |
公共指標(biāo)
源電容：穩(wěn)定至10.0nF (典型值)。
輸入偏置電流5：50fA（值）@ 23°C。
輸入電壓負(fù)擔(dān)6：4.0mV（值）。
電壓源斜率：3.0ms/V (典型值)。
共模電壓：200VDC。
共模隔離度：典型值109Ω并聯(lián)150nF。
過(guò)量程：測(cè)量量程的105%。
內(nèi)存緩沖：6000讀數(shù) (2個(gè)3000點(diǎn)緩存)。包括 選定的測(cè)量值和時(shí)標(biāo)。
可編程性：IEEE-488.2, RS-232, 用戶定義的5個(gè) 上電狀態(tài)，外加工廠默認(rèn)設(shè)置和*RST。
輸出啟動(dòng)接頭：
輸出啟動(dòng)：有源低輸入。
輸入線：SOT (測(cè)試開(kāi)始) 觸發(fā)輸入。
電源：100V, 120V, 220V, 240V (±10%), 50Hz 或60Hz, 50VA（值）。
保質(zhì)期：1年。
EMC：符合歐盟電磁兼容（EMC）指令。
震動(dòng)：MIL-T-28800F random class 3。
安全性：符合歐盟低壓電器指令。
預(yù)熱：1小時(shí)到相關(guān)精度。
尺寸：
機(jī)架安裝：89mm 高 × 213mm 寬 × 370mm 深(3.5 in. × 8.4 in. × 14.6 in.)
臺(tái)式配置(帶手柄和腳): 104mm高 × 238mm 寬× 370mm 深 (4.1 in. × 9.4 in.× 14.6 in.)
重量：23.1kg (10.5 lb.)
工作環(huán)境：于室內(nèi)。
海拔：高于海平面2000米(6562 ft)。
工作：溫度0°–50°C；相對(duì)濕度70% R.H.（35°C），在35°–50°C，相對(duì) 濕度降低3%/°C。
存儲(chǔ)：–25°C 到 65°C。
注
1. 速度= 正常 (1.0 NPLC)，篩選。
2. 1年。
3. 在滿量程(以及零)輸入電流情況下，測(cè)量DVin/ΔIin。
4. 在滿量程(20mA) 以及零負(fù)載電流情況下，測(cè)量DVin/ΔIin。
5. 根據(jù)設(shè)計(jì)確定技術(shù)指標(biāo)。
6. 在滿量程(20mA) 以及零輸入電流情況下，在輸入三同軸接頭處進(jìn)行測(cè)量。
泰克Keithley 6400 系列皮安表
