HZDH2010多功能真空實驗儀（設(shè)計性、綜合性實驗）是一個真空實驗平臺，能夠很直觀反映真空獲得的全過程。由真空獲得部分、真空鍍膜機構(gòu)和電控及儀表等部分組成，結(jié)構(gòu)合理，運行安全可靠，適合于對學(xué)生開展真空實驗教學(xué)。
本產(chǎn)品已獲得國家實用新型磚利：ZL 2007 2 0107661.X
在2008年第五屆國內(nèi)高等學(xué)校物理實驗教學(xué)研討會物理儀器評比中榮獲三等獎。
可開設(shè)的實驗
1、真空的獲得與測量；2、蒸發(fā)法薄膜制備
主要技術(shù)特點
1、設(shè)備的真空反應(yīng)室、油擴散泵、真空管路部件全透明；
2、電氣控制有安全防護(hù)，防止誤操作對操作人員和設(shè)備造成的損傷；
3、管路采用不銹鋼、真空橡膠管結(jié)合，閥門為電控雙向截止閥；真空室內(nèi)有烘烤除氣裝置；
4、一機多用的功能，針對高校開展綜合性、設(shè)計性和開放性實驗的要求,預(yù)留有大空間的真空室，在配置一些組件后，就能方便開設(shè)其他擴展實驗項目。
主要技術(shù)參數(shù)
1、Ф230×255mm玻璃真空室；
2、采用機械泵、四級玻璃質(zhì)油擴散泵兩級真空系統(tǒng)，擴散泵油量125~140ml，需水冷；
3、真空度：開機60分鐘后可達(dá)5×10-3Pa，極限真空度：9.6×10-4Pa；恢復(fù)真空時間＜40分鐘；
4、采用一對無氧銅電極蒸發(fā)電極，電極間距70mm，可選用鎢絲或鉬舟作蒸發(fā)源，蒸發(fā)電流調(diào)節(jié)范圍： 0～150A；
5、襯底可加熱，襯底加熱溫度范圍：室溫～200℃；
6、工作電壓：AC220V±5%，50Hz；整機功率：3kW；
7、工作環(huán)境要求：溫度低于30℃，濕度≤70％；水循環(huán)用戶自備。
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