·1000 Torr 至 UHV 范圍
·高度準(zhǔn)確和穩(wěn)定
·壓力與時間曲線
·4個模擬輸入/輸出端口
·8通道過程控制
·GPIB 和 Web 界面
IGC100 是一款高精度真空計(jì)控制器,可提供的壓力測量和過程自動化功能。它測量來自 Bayard-Alpert 電離計(jì)、對流增強(qiáng)型皮拉尼計(jì)和電容壓力計(jì)的壓力,提供從 1000 Torr 到 UHV 的不間斷壓力讀數(shù)。
IGC100 有一個觸摸屏顯示器,可以以多種格式顯示數(shù)據(jù),包括壓力與時間曲線。有用于過程控制的內(nèi)置繼電器和幾個多功能輸入/輸出端口。IGC100 也支持
準(zhǔn)確的測量
IGC100 設(shè)計(jì)為高精度、穩(wěn)定的控制器。其低噪聲、自動量程靜電計(jì)可在 UHV 范圍內(nèi)提供高精度壓力讀數(shù)。
觸摸屏顯示
IGC100 具有大型背光 LCD 觸摸屏顯示器——真空計(jì)控制器的新功能。該儀器顯示來自每個儀表的大數(shù)字讀數(shù)(在整個房間很容易讀?。?,并且還可以以條形圖或趨勢格式顯示讀數(shù)。屏幕每秒更新兩次,結(jié)果以 Torr、mbar、bar、Pa 或微米為單位顯示。IGC100 還顯示壓力與時間曲線(圖表記錄),使您能夠跟蹤抽氣和排氣循環(huán),并跟蹤真空系統(tǒng)的性能。
IGC100 數(shù)據(jù)連續(xù)記錄到內(nèi)存中。有一個帶有日期的實(shí)時時鐘,用于精確的時間戳。除了壓力讀數(shù),您還可以記錄 ADC 電壓和繼電器活動。數(shù)據(jù)可以在 IGC100 上查看或下載到您的計(jì)算機(jī)上進(jìn)行進(jìn)一步分析。
網(wǎng)絡(luò)就緒
IGC100 有一個可選的以太網(wǎng)接口和嵌入式網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器硬件,使您的控制器支持
有用的 I/O 端口
IGC100 有四個輔助模擬輸入/輸出端口。當(dāng)配置為輸入時,端口可以在前面板上進(jìn)行監(jiān)控或通過 GPIB、
這些端口還可以配置為電壓范圍為 ±12 VDC 的模擬輸出,并可用于向其他設(shè)備發(fā)送控制電壓。
強(qiáng)大的過程控制
IGC100 不僅僅是簡單地測量壓力。它也可以是一個八通道過程控制器。有八個繼電器,具有相應(yīng)的 TTL 輸出,可用于控制您的真空系統(tǒng)。它們可以通過表壓、狀態(tài)條件(表開/關(guān)、燈絲開/關(guān)等)、系統(tǒng)時鐘、模擬 I/O 端口或 TTL 輸入信號進(jìn)行設(shè)置。繼電器和 TTL 輸出也可以從前面板手動控制,并且可以顯示所有八個通道的狀態(tài)。
此外,還有 12 個專用 TTL 輸入用于觸發(fā)功能,如儀表開/關(guān)、燈絲開/關(guān)、脫氣、離子規(guī)鎖定等。所有過程控制事件都帶有時間戳并記錄在內(nèi)存中,并且可以隨時查看。用戶可編程的聲音警報和文本消息可以提供潛在問題的提前警告。
儀表自動啟動
IGC100 可以設(shè)置為在皮拉尼真空計(jì)達(dá)到預(yù)設(shè)壓力水平后自動打開離子計(jì)。如果在與離子計(jì)相同的高真空室中使用 UHV 皮拉尼真空計(jì),您可以不間斷地測量從大氣壓到 UHV 的壓力。在超壓的情況下,IGC100 的內(nèi)置燈絲保護(hù)算法以及用戶可編程設(shè)定點(diǎn)會立即關(guān)閉您的儀表燈絲。
操作簡單
盡管具有許多功能,但 IGC100 易于使用。基于菜單的界面直觀,參數(shù)輸入快速簡單。當(dāng)然,儀器的所有功能都有交互式幫助。有專門的前面板按鈕用于燈絲發(fā)射、脫氣和燈絲自動啟動,LED 指示它們的狀態(tài)。IGC100 與幾乎所有 Bayard-Alpert 離子計(jì)兼容,包括玻璃管、裸露、裸 UHV、STABIL_ION ®和 MICRO_ION ®。您可以從各種標(biāo)準(zhǔn)儀表配置中進(jìn)行選擇或自行編程。
您還可以為每個儀表分配一個位置名稱,然后顯示在設(shè)備的前面板上。樂器表面不再有亂七八糟的貼紙。IGC100 中沒有 DIP 開關(guān)、微調(diào)電位器或拇指輪調(diào)節(jié)裝置——您永遠(yuǎn)不需要打開盒子。
添加了傳感器開/關(guān)功能,因此您可以在存在的情況下關(guān)閉皮拉尼壓力計(jì),而無需將其與控制器物理斷開。
提供密碼保護(hù)以防止臨時用戶意外更改重要參數(shù)。
高級命令集以及
SRS 儀表
SRS 提供范圍廣泛的離子規(guī)。其中包括具有多種安裝選項(xiàng)的管狀和裸露設(shè)計(jì),以及鎢 (W) 或釷銥 (ThO 2 /Ir) 燈絲的選擇。
我們還提供對流增強(qiáng)型皮拉尼真空計(jì) (PG108)。PG108 真空計(jì)提供從 1000 Torr 到
?IGC100 規(guī)格
手術(shù)
壓力范圍1000 Torr 至 UHV (<10 -11 )
兼容的儀表Bayard-Alpert 型電離計(jì)、對流增強(qiáng)型皮拉尼計(jì)、電容壓力計(jì)(0 至 10 VDC 線性輸出)
展示
類型背光觸摸屏 LCD (4.7")
解決320 × 240 像素
模式數(shù)字、條形圖、P與T
單位托、毫巴、巴、帕和微米
數(shù)值分辨率3 位尾數(shù)加指數(shù)
更新率每秒 2 個樣本
雙皮拉尼計(jì)同時讀出兩個皮拉尼壓力計(jì)(標(biāo)準(zhǔn))
自動開啟當(dāng)壓力超過用戶定義的水平時,使用 PG1 或 PG2 自動打開/關(guān)閉 IG1 或 IG2。
電氣(20 °C 至 30 °C)
電子發(fā)射電流
范圍10µA 至 12mA
穩(wěn)定電子控制
準(zhǔn)確性±1 % 的設(shè)置
陽極
潛在的+180 伏直流電
準(zhǔn)確性±0.3 % 的設(shè)置
燈絲
潛在的+30 伏直流電
準(zhǔn)確性±0.3 % 的設(shè)置
燈絲功率()7 個 ADC,7 伏直流
德加
模式電子轟擊
力量1 至 75 W,以 1 瓦為單位調(diào)整
時間1 到 30 分鐘,以 1 分鐘為步長調(diào)整
陽極電位500 伏直流
發(fā)射電流2 至 150 毫安
展示近似壓力、脫氣功率和剩余時間
靜電計(jì)
準(zhǔn)確性讀數(shù)的 1%
零漂移0.4 帕
模擬輸入/輸出
端口4個可配置模擬端口
范圍±12 伏直流
解決14 位(輸入)、12 位(輸出)
更新率2赫茲
連接器BNC
真空電離計(jì)
儀表類型Bayard-Alpert 型電離計(jì),包括玻璃管狀(標(biāo)準(zhǔn)和寬范圍)、裸色、裸色-UHV、STABIL_ION ®、MICRO_ION ®。支持鎢絲和釷銥絲。
壓力范圍10 -11至 10 -1托
下限Bayard-Alpert 測量儀的 X 射線極限
上限壓力表制造商規(guī)定的工作壓力
壓力計(jì)算從靈敏度常數(shù)或全范圍校準(zhǔn)曲線
靈敏度常數(shù)0.1/托至 100/托
燈絲選擇Fil 1、Fil 2 或兩者兼有
過壓保護(hù)可編程跳閘點(diǎn),自動啟動保護(hù)
模擬輸出日志,1 V/十倍頻,1 到 10 V,帶故障和關(guān)閉指示
對流增強(qiáng)皮拉尼真空計(jì)
儀表類型PG108 對流增強(qiáng)型皮拉尼真空計(jì)、CONVECTRON ®和 HPS TM系列 317 對流增強(qiáng)型皮拉尼真空計(jì)。
壓力范圍999 至 10 -3托。壓力下限延伸至10 -4 Torr ,帶調(diào)零。
氣體類型校準(zhǔn)空氣、N 2和 Ar的直接讀數(shù)。菜單驅(qū)動調(diào)零和大氣調(diào)整。
模擬輸出對數(shù),1V/十年,1 至 8 V
電容壓力計(jì)
儀表數(shù)量使用輔助輸入同時讀出多達(dá)四個電容壓力計(jì)。
輔助電源輸出±15 VDC,100 mA(用于 CM 電源)
過程控制(可選)
通道數(shù)具有可編程設(shè)定點(diǎn)、極性、滯后、延遲、音頻信號和文本消息的 8 個通道。所有通道都可以從前面板手動操作。
過程變量壓力(任何儀表)、電壓(I/O 端口)、時間(內(nèi)部時鐘)、TTL 和儀表狀態(tài)。
繼電器8 個繼電器,SPDT,C 型,5A/250VAC/30VDC,阻性負(fù)載
TTL控制8路TTL輸入和8路TTL輸出(低電平有效,光隔離)對應(yīng)繼電器
附加輸入12 個光電隔離 TTL 輸入,對應(yīng)于:遠(yuǎn)程啟用、IG1 開/關(guān)、IG2 開/關(guān)、脫氣開/關(guān)、Fil 1/Fil 2 選擇、Fil 選擇、IG 鎖定、IG 控制鍵盤鎖定、PG1 開/關(guān), PG2 開/關(guān), 數(shù)據(jù)記錄時間復(fù)位, 觸摸屏啟用/禁用
一般的
接口RS-232(標(biāo)準(zhǔn))、GPIB 和以太網(wǎng)接口,帶有嵌入式網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器硬件(可選)
力量90 至 264 伏交流電,47 至 63 赫茲,240 瓦
工作溫度0 °C 至 40 °C,無冷凝
重量/尺寸15 磅,8.5" ×5.25" × 16" (WHL)
保修單一年零件和人工材料和工藝缺陷