LZU系列超高真空兼容性直線運動模組可以為幾公斤的負載提供長行程直線位移。高精度滾珠導軌適用于扭轉載荷較小的簡單復合機構中。平滑的運動由高精度滾珠絲桿搭配精密滾珠螺母提供，以確保良好的位置穩(wěn)定性，并包含預加載絲桿螺母以消除齒隙。傳動部分配合低飽和蒸氣壓潤滑脂，使運動更加平滑且不對真空度造成影響。驅動方式采用真空步進電機，可選擇安裝限位開關或脈沖信號位置控制方式。產品采用超高壓兼容材料和加工方法，避免材料對使用環(huán)境造成的影響。
產品特點
一體化設計，尺寸緊湊、機械剛度高、重復定位精度高；
形成范圍可在50至500mm；
適用于常溫至200℃的高溫范圍；
可應用于10-7Pa至常壓的環(huán)境中；
傳動方式采用精密滾珠絲桿；
重復定位精度±0.05mm；
分辨率可達5μm/step;
負載能力可達30kg；
可堆疊用于XYZ；
可根據要求定制非標形成或結構；
可提供二維、三維或龍門結構整體解決方案；
規(guī)格說明書
描述 | 單位 | LZUV | LZUL | |
行程 | mm | 50/100/200/250/300/350/400/450/500 | ||
速度 | mm/s | 15 | 4 | |
低壓下建議加速度 | mm/s2 | 2 | 0.8 | |
重復精度 | μm | 0.5 | 1 | |
中心負載 | Kg | 30 | ||
負載扭矩 | Nm | ＜6 | ||
導程 | mm | 6 | ||
軸向負載（500Hz，1A） | kg | 7 | 12 | |
直線度 | μm | ＜2μm/100mm | ||
使用環(huán)境極限真空 | Mbar | 1×10-7pa | ||
使用環(huán)境極限溫度 | ℃ | 200 | ||
50mm行程重量 | Kg | 1 | 1.5 | |
每增加50mm行程重量 | Kg | 0.35 | ||
LZUV-直連電機尺寸圖
LZUL-緊湊電機尺寸圖
訂購信息
LZUV-xxx | Xxx=行程（mm）； |
LZUV-xxx-S | Xxx=行程（mm）；附帶2只限位開關； |
LZUV-xxx-E | Xxx=行程（mm）；光學編碼器； |
LZULxxx | Xxx=行程（mm）； |
LZUL-xxx-S | Xxx=行程（mm）；附帶2只限位開關； |
LZUL-xxx-E | Xxx=行程（mm）；光學編碼器； |
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