住友的臭氧發(fā)生器采用平板式放電電池，通過(guò)電力將氧氣轉(zhuǎn)化為臭氧。放電室由高純度陶瓷組成，以防止金屬污染達(dá)到極低水平。臭氧濃度超過(guò)400g/（n），是市場(chǎng)上的上等產(chǎn)品。在半導(dǎo)體、FDP等電子器件材料的干濕加工過(guò)程中受到了眾多客戶的高度重視。
住友立式臭氧發(fā)生儀器
住友立式臭氧發(fā)生儀器應(yīng)用：
1. 半導(dǎo)體器件
2. Si/復(fù)合晶圓
3. FDP（LTPS、HTPS、TFT、彩色濾光片、OLED）
4. 光罩
5. 發(fā)光二極管
住友立式臭氧發(fā)生儀器具體規(guī)格
| 臭氧氣體流速 | 1L/min to 24L/min |
| 臭氧氣體供應(yīng)壓力 | *大0.15MPa |
| 冷卻水溫度 | 20°C±2°C |
| 尺寸 | W483mm x D453mm x H266mm |
| 重量 | 30 to 45kg |
| 功率 | 200-220VAC, 3-phase |
住友立式臭氧發(fā)生儀器優(yōu)勢(shì)：
高濃度；高達(dá)400g/m3（N），不含氮摻雜
19英寸機(jī)架尺寸標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)
豐富的產(chǎn)品線；小容量到大容量
高壓耐受，長(zhǎng)壽命放電單元
快速啟動(dòng)，快速響應(yīng)
與臭氧監(jiān)測(cè)儀（閉環(huán)控制）集成的穩(wěn)定濃度
CE、NRTL、半標(biāo)準(zhǔn)適用
管道材料；從316LSS或P中選擇
