VFT光纖過真空裝置可以將光導(dǎo)入或?qū)С稣婵帐?,以?shí)現(xiàn)超高真空的應(yīng)用場合,例如半導(dǎo)體處理的光學(xué)監(jiān)測和薄膜吸附的*終檢測。采用VFT光纖過真空裝置可以檢測真空環(huán)境下,樣品的透射/吸收,以及熒光反射等光學(xué)反應(yīng)!
在隔空箱和高壓應(yīng)用場合下有較好的表現(xiàn),真空度高達(dá)*大10 -7 mbar ,操作溫度高達(dá)300℃,真空室壁厚5-40mm,玻璃或金屬封口光纖使性能表現(xiàn)提高,VFT光纖過真空裝置使用牢固的金屬-玻璃封口膠,使VFT在超高真空應(yīng)用場合的表現(xiàn)得到提高。
VFT光纖過真空裝置除了在半導(dǎo)體和薄膜處理方面的應(yīng)用,還是環(huán)境檢測、藥*學(xué)處理和光學(xué)涂層生產(chǎn)的理想工具。它還可以應(yīng)用在分子束外延和化學(xué)物理的蒸汽吸附方面,可以作為配合隔空箱、手套箱和中壓裝置的性能優(yōu)異的通管。
VFT光纖過真空裝置的光纖直徑有50μm、100μm、200μm、400μm、600μm和1000 μm可選;波長可選UV200~1100nm和IR400~2500nm,可選配SMA905或者FC接頭。
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VFT光纖過真空裝置可以定制配套的真空法蘭盤,如KF16、KF25、KF40等。