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微量氣體分析儀GA-360E 微量氣體分析儀GA-360E

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  • 型號(hào)微量氣體分
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時(shí)間2023-03-07
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 入駐年限1
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量1883
  • 人氣值3906
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微量氣體分析儀GA-360E概要它是可以對用于半導(dǎo)體工藝的混合氣體 (N2、O2、He、Ar、H2、Air) 中的微量不純物進(jìn)行超高靈敏度、高精度 (*小檢測感度10ppb) 連續(xù)檢測的裝置。由于采用了交替流動(dòng)調(diào)制方式,可以和零氣體不斷比較的同時(shí)進(jìn)行檢測,所以沒有零點(diǎn)漂移,能夠獲得長期穩(wěn)定的檢測值。由于它通過19英寸RACK方式進(jìn)行了集中,所以系統(tǒng)升級(jí)也很容易
微量氣體分析儀GA-360E 產(chǎn)品詳情
微量氣體分析儀GA-360E
概要
它是可以對用于半導(dǎo)體工藝的混合氣體 (N2、O2、He、Ar、H2、Air) 中的微量不純物進(jìn)行超高靈敏度、高精度 (*小檢測感度10ppb) 連續(xù)檢測的裝置。由于采用了交替流動(dòng)調(diào)制方式,可以和零氣體不斷比較的同時(shí)進(jìn)行檢測,所以沒有零點(diǎn)漂移,能夠獲得長期穩(wěn)定的檢測值。由于它通過19英寸RACK方式進(jìn)行了集中,所以系統(tǒng)升級(jí)也很容易.*適于半導(dǎo)體氣體制造設(shè)備的質(zhì)量管理 。

特征

1分析儀*大可以搭載CO/CO2/CH4中的2種成分,2種成分可同時(shí)以數(shù)字形式顯示濃度。

采用了交替流動(dòng)調(diào)制方式,沒有零點(diǎn)漂移,可以獲得長期穩(wěn)定的連續(xù)檢測值。

不需要進(jìn)行光學(xué)調(diào)整,維護(hù)性得到了提高。

由于搭載有流量(壓力)異常、斷路器(電磁閥)、失火報(bào)警(GA-360E)、電源斷開的自我診斷功能,所以能夠迅速地在發(fā)生異常時(shí)采取措施。


制造: HORIBA

關(guān)鍵詞:氣體分析儀 電磁閥
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