概要
它是可以對用于半導(dǎo)體工藝的混合氣體 (N2、O2、He、Ar、H2、Air) 中的微量不純物進(jìn)行超高靈敏度、高精度 (*小檢測感度10ppb) 連續(xù)檢測的裝置。由于采用了交替流動(dòng)調(diào)制方式,可以和零氣體不斷比較的同時(shí)進(jìn)行檢測,所以沒有零點(diǎn)漂移,能夠獲得長期穩(wěn)定的檢測值。由于它通過19英寸RACK方式進(jìn)行了集中,所以系統(tǒng)升級(jí)也很容易.*適于半導(dǎo)體氣體制造設(shè)備的質(zhì)量管理 。
特征
1分析儀*大可以搭載CO/CO2/CH4中的2種成分,2種成分可同時(shí)以數(shù)字形式顯示濃度。
采用了交替流動(dòng)調(diào)制方式,沒有零點(diǎn)漂移,可以獲得長期穩(wěn)定的連續(xù)檢測值。
不需要進(jìn)行光學(xué)調(diào)整,維護(hù)性得到了提高。
由于搭載有流量(壓力)異常、斷路器(電磁閥)、失火報(bào)警(GA-360E)、電源斷開的自我診斷功能,所以能夠迅速地在發(fā)生異常時(shí)采取措施。
制造: HORIBA