Union光學HISOMETⅡ高精度非接觸步距測量機
Union光學HISOMETⅡ高精度非接觸步距測量機
HISOMETⅡ高精度非接觸步距測量機
只需對準目標標記圖像,即可輕松準確地進行高度、深度、臺階等 Z 軸測量。
Hisomet II 系列是一種使用光學焦點位置檢測方法的非接觸式步進測量顯微鏡。通過采用 Precise Focus Unit,任何人都可以輕松地進行高度、深度、臺階等的高精度測量,同時只需對齊投影目標標記圖像頂部和底部的垂直線即可觀察測量點的表面狀況. 這將是可能的。由于無需擔心變形、凹痕、劃痕等問題,適用于測量 IC 和精密機械零件等電子零件。
鏡子/ | 垂直可動范圍 | 粗140mm,細10mm或25mm |
可觀察的高度 | 150mm | |
落射照明 | 目標標記(從 5 種類型中選擇)內置照明、無級音量調光、 | |
透射照明 | 遠心照明,無級音量調光, | |
Z軸測量范圍 | 10mm 或 25mm(取決于 Z 軸刻度選擇) | |
Z軸測量精度 | 范圍 ≤ 1 μm(0 至 10 mm 規(guī)格),范圍 ≤ 2 μm(0 至 25 mm 規(guī)格) | |
桶 | 直立三目 | 20°俯仰角,正像,護眼調節(jié)范圍54-75mm,帶C接口 |
物鏡安放 | 帶4個孔 | 最多可安裝 4 個物鏡 |
物鏡 | PL/PLLWD/ | 無限遠校正物鏡(∞) 3?5?10?20?40?50?100× |
目鏡 | NWF10X | 10 倍放大倍率,16 個視野,包括偏心實線十字線 |
階段 | 移動量(XY) | 50×50?100×50?100×100?150×150?200×100? |
測量精度 | 兩者 XY:(4+0.02L) μm L:測量長度(mm) | |
選項 | 防震臺、照相機、顯示器、運算器、測量軟件、 |