力/扭矩平衡傳感器（樣品應(yīng)力直接量測）
| 傳感器類型 | 力/扭矩平衡 |
| 傳感器扭矩伺服電機(jī) | 無刷直流 |
| 傳感器法向/軸向伺服電機(jī) | 無刷直流 |
| 振蕩 小扭矩 | 0.05μN(yùn).m |
| 穩(wěn)態(tài)剪切 小扭矩 | 0.1μN(yùn).m |
| 刪除/廣泛扭矩 | 200 mN.m |
| 扭矩分辨率 | 1 nN.m |
| 法向/軸向力范圍 | 0.001 至 20 N |
| 傳感器軸承 | 通道補(bǔ)償空氣 |
驅(qū)動電機(jī)（樣品變形直接控制）
| 電機(jī)刪除/廣泛扭矩 | 800 mN.m |
| 電機(jī)設(shè)計 | 無刷直流 |
| 電機(jī)軸承 | 寶石空氣，藍(lán)寶石 |
| 角位移控制/感應(yīng) | 光學(xué)編碼器 |
| 應(yīng)變分辨率 | 0.04 μrad |
| 振蕩 小角位移 | 1 μrad |
| 穩(wěn)態(tài)剪切刪除/廣泛角位移 | 無窮大 |
| 角速率范圍 | 1 x 10-6 rad/s至 300 rad/s |
| 角頻率范圍 | 1 × 10-7 rad/s至 628 rad/s |
| 速率切換時間 | 5 ms |
| 應(yīng)變切換時間 | 10 ms |
正交疊加和動態(tài)力學(xué)分析模式
| 電機(jī)控制 | 力平衡傳感器 |
| 傳感器振蕩 小力 | 0.001 N |
| 傳感器刪除/廣泛力 | 20 N |
| 振蕩 小位移 | 0.5μm |
| 振蕩刪除/廣泛位移 | 50μm |
| 位移分辨率 | 10 nm |
| 軸向頻率范圍 | 1 x 10-5 Hz 至 16 Hz |
步階電機(jī)
| 移動/定位 | 微步階電機(jī)/精密絲杠 |
| 位置測量 | 線性光學(xué)編碼器 |
| 定位精度 | 0.1 微米 |
溫度系統(tǒng)
| 智能識別 | 標(biāo)配 |
| 強(qiáng)制對流爐，F(xiàn)CO | -150 °C 至 600 °C |
| FCO攝像頭 | 選配 |
| 高級 Peltier 系統(tǒng)，APS | -10 °C 至 150 °C |
| Peltier 板 | -40 °C 至 180 °C |
| 密封浴 | -10 °C 至 150 °C |
