EK系列，應(yīng)用于反射/透射光應(yīng)用的手動顯微鏡平臺
Marzhauser Wetzlar作為德國老牌顯微鏡平臺生產(chǎn)廠商，與四大顯微鏡品牌Nikon，Olympic，Zeiss，Leica均可匹配適用，可作為手動顯微鏡平臺用于反射/透射光應(yīng)用，用戶可根據(jù)不同的使用環(huán)境選擇相匹配的樣品架，除玻璃板和金屬板以外，Marzhauser為用戶提供適用于不同尺寸的晶圓裝載架，允許用戶搭載不同尺寸的晶圓。行程范圍從100 mm到300 mm范圍內(nèi)可選，的晶圓夾持器需要搭載相應(yīng)的轉(zhuǎn)接件安裝使用，允許用戶對平臺進(jìn)行集成應(yīng)用，并不局限于顯微鏡型號的匹配。EK系列手動顯微鏡平臺僅適用于正置顯微鏡的裝配，且該系列產(chǎn)品無形成反饋，作為顯微鏡手動平臺，具有經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的價格優(yōu)勢。
Marzhauser顯微鏡平臺的一個特色功能是：大尺寸行程的平臺在搭載12”晶圓的情況下仍可保持較高的精度，行程超過150 x 150毫米的平臺配備有的調(diào)整旋桿，即使在更大的旅行范圍內(nèi)仍能得到更快的調(diào)整速度，調(diào)整旋桿的同軸驅(qū)動設(shè)計(jì)更加方便用戶操作使用。
手動顯微鏡平臺 EK100 ×100（正置顯微鏡）
| 訂購型號 | 00-22-401-0000 |
| 行程 | 102 ×102 mm（max） |
| 驅(qū)動 | 同軸驅(qū)動/齒條-小齒輪 |
| 材料 | 鋁 |
| 重量 | ~1.6 kg |
| 承重 | 5.0 kg |
適用顯微鏡型號：
| Leica | Nikon | Olympus | Zeiss |
| DM2000 | E800 | BX40 | Axioplan |
| DM2500 | Eclipse E400 | BX50 | Axioplan 2 |
| DM2500M | Eclipse E600 | BX60 | Axioskop |
| DMLA | SMZ1000 | SZX10 | Axioskop 2 MAT |
| DMLB | SMZ1500 | SZX12 | Axioskop 2 MOT |
| DMLM | SMZ800 | SZX16 | Axioskop 20 |
| DMLS |
| SZX7 | Axioskop 40 |
| DMR… |
| SZX9 | Axiotech 100 |
| DMRB |
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| Stemi 2000 / 2000C |
| MS5 |
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| MZ12.5 |
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| MZ16/MZ16A |
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| MZ7.5 |
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| MZ9.5 |
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可匹配樣品架
| 訂購型號 | 尺寸 | 描述 | 可適配平臺型號 |
| 00-29-401-8010 | 116 × 116 × 7 mm | 單玻片樣品架 76 × 26 mm/3“× 1” | SCAN 75 × 50 SCAN 100 × 100 EK 100 × 100 |
| 00-24-401-0810 | 116 × 116 × 3 mm | 玻璃板 |
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| 00-24-401-0011 | 116 × 116 × 3 mm | 金屬板 | SCAN 75 ×50 |
| 00-29-400-6000 |
| 樣品保持架4“ |
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| 00-29-440-8000 | 116 x 116 mm x 13,2 mm (L x W x T) | 晶圓夾持器 需要適配器（metal plate 116 x 116 mm (L x W)） 材料：鋁、鋼和塑料 表面涂層：陽極涂層，黑色漆 | Ek 100 x 100 SCANplus 100 x 100 |
手動顯微鏡平臺 EK 150 × 150（正置顯微鏡）
| 訂購型號 | 00-23-601-0000 |
| 行程 | 153 x 153 mm (6" x 6")（max） |
| 驅(qū)動 | 同軸驅(qū)動/齒條-小齒輪 具有的粗調(diào) |
| 材料 | 鋁 |
| 重量 | 3,000 g |
| 承重 | 5,000 g |
適用顯微鏡型號：無
可匹配樣品架
| 訂購型號 | 尺寸 | 描述 | 可適配平臺型號 |
| 00-24-601-0810 | 168 × 168 × 3 mm | 玻璃板 |
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| 00-24-601-0011 | 168 × 168 × 3 mm | 金屬板 | SCAN 150 ×150 |
| 00-29-650-8000 | 168 x 168 x 24,5 mm (D x T) | 真空晶圓架（旋轉(zhuǎn)，5”、6”晶圓） 需要適配器（meta plate 168 x 168 mm (L x W)） | EK 150 x 150 MTM 150 x 150 MR SCAN 150 x 15 |
| 00-29-640-8000 | 168 x 168 mm x 16,2 mm (L x W x T) | 真空晶圓架（旋轉(zhuǎn)，5”、6”晶圓） 需要適配器（metal plate 168 x 168 (L x W)） | EK 150 x 150 MTM 150 x 150 MR SCAN 150 x 150 |
手動顯微鏡平臺 EK200 ×200（正置顯微鏡）
| 訂購型號 | 00-23-801-0000 |
| 行程 | 205 × 205 mm (8“ × 8“)（max） |
| 驅(qū)動 | 同軸驅(qū)動/齒條-小齒輪 具有的粗調(diào) |
| 材料 | 鋁 |
| 重量 | ~6.3 kg |
| 承重 | 5.0 kg |
適用顯微鏡型號：
| Leica | Nikon | Olympus | Zeiss |
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| MX50 |
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| MX50L |
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| MX61 |
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可匹配樣品架
| 訂購型號 | 尺寸 | 描述 | 可適配平臺型號 |
| 00-24-801-0810 | 246 x 246 x 4 mm | 玻璃板 |
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| 00-24-801-0011 | 246 x 246 x 6 mm | 金屬板 | SCAN 200 x 200 |
| 00-29-850-8000 | 200,4 x 200,4 x 24,5 mm (L x W x T) | 真空晶圓架（旋轉(zhuǎn)，6”、8”晶圓） 需要適配器（metal plate 246 x 246 mm (L x W)） | EK 200 x 200 SCAN 200 x 200 |
| 00-29-340-8000 | 300,4 x 16 mm (D x T) | 真空晶圓架（旋轉(zhuǎn)，6”、8”、12”晶圓） 需要適配器（metal plate 246 x 246 mm (L x W)） | EK 200 x 200 SCAN 200 x 200 |
| 00-29-840-8000 | 246 x 246 mm x 16 mm (L x W x T) | 真空晶圓架（旋轉(zhuǎn)，5”、6”、8”晶圓） 需要適配器（metal plate 246 x 246 mm (L x W)） | EK 200 x 200 MTM 200 x 200 MR SCAN 200 x 200
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手動顯微鏡平臺 EK300 ×300（正置顯微鏡）
| 訂購型號 | 00-23-012-0000 |
| 行程 | 305 × 305 mm (12“ × 12“)（max） |
| 驅(qū)動 | 同軸驅(qū)動/齒條-小齒輪 |
| 材料 | 鋁 |
| 重量 | ~18 kg |
| 承重 | 5.0 kg |
適用顯微鏡型號：
| Leica | Nikon | Olympus | Zeiss |
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| MX61L |
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可匹配樣品架
| 訂購型號 | 尺寸 | 描述 | 可適配平臺型號 |
| 00-29-350-8000 | 300,4 x 18,5 mm (D x T) | 真空晶圓架（旋轉(zhuǎn)，8”、12”晶圓） 需要適配器（3 threads in top plate of scanning stage） | EK 300 x 300 SCAN 300 x 300 |
