日本MRM高溫手動閥SMH
日本MRM高溫手動閥SMH
180℃對應(yīng)。手動ON/OFF及流量調(diào)整。各種接頭對應(yīng)。
各種接頭對應(yīng)。
接液部全部用氟樹脂(PTFE)高耐腐蝕。
低發(fā)塵清潔(高表面粗糙度加工、精密清洗、平面密封結(jié)構(gòu))。
MRM的安全構(gòu)造(高壓對策及熱循環(huán)對策)。
使用流體 (Fluid) 化學(xué)品?純水?氣體 (Chemical liquid, DIW, Gas) ※1
流體溫度 (Fluid temperature range) 10?180℃
大氣溫度 (Atmospheric temperature) 0?60℃
液體流動部分的材質(zhì) (Materials of liquid flowed parts)
本體 (Body) : PTFE
薄膜 (Diaphragm) : PTFE
操作方式 (Operating system) 手動式 (Manual type)
注釋 (Note)
※1 :氣體在最大1cm3/min的時(shí)候,有可能會發(fā)生閥底座泄露。 B38
閥門尺寸 (Valve size) 8 (1/4”) 8TF6 10 (3/8”) 15 (1/2”) 20 (3/4”) 25 (1”)
流通孔 (Orifice) Φ7 Φ7 Φ8 Φ10 Φ16 Φ22
流體圧力 (Fluid pressure range)
0.5MPa規(guī)格
(0.5MPa specification)
IN→OUT 0?0.5MPa
背圧 (Back pressure) 0?0.5MPa