日本MRM半導(dǎo)體用SAP空氣停止閥
日本MRM半導(dǎo)體用SAP空氣停止閥
可對(duì)應(yīng)各種連接方式。
接流體部全部都是氟化乙烯樹脂(PFA/PTFE)，抗腐蝕。
超低粉塵清理(表面粗糙度加工、精密洗浄、平面構(gòu)造)。
MRM獨(dú)自的安全構(gòu)造(高圧對(duì)策及熱循環(huán)對(duì)策)。
使用流體 (Fluid) 化學(xué)品?純水?氣體 (Chemical liquid, DIW, Gas) ※4
流體溫度 (Fluid temperature range) 10～100℃
大氣溫度 (Atmospheric temperature) 0～40℃
液體流動(dòng)部分的材質(zhì) (Materials of liquid flowed parts) 本體 (Body) : PTFE
薄膜 (Diaphragm) : PTFE
操作方式 (Operating system) 單動(dòng)式 (Spring return actuation)
氣壓圧力 (Pneumatic supply pressure)
0.3MPa規(guī)格 (0.3MPa specification) : 0.3～0.6MPa
0.5MPa規(guī)格 (0.5MPa specification)
: 0.45～0.6MPa
0.7MPa規(guī)格 (0.7MPa specification)
閥門尺寸 (Valve size) 10 (3/8”) 15 (1/2”) 20 (3/4”) 25 (1”)
流通孔 (Orifice) Φ8 Φ10 Φ16 Φ22
流體圧力 (Fluid pressure range)
0.3MPa規(guī)格
(0.3MPa specification)
IN→OUT 0～0.3MPa
背圧 (Back pressure) 0～0.3MPa 0～0.2MPa 0～0.1MPa
0.5MPa規(guī)格
(0.5MPa specification)
IN→OUT 0～0.5MPa
背圧 (Back pressure) 0～0.5MPa
0.7MPa規(guī)格
(0.7MPa specification)
IN→OUT 0～0.7MPa ASK
背圧 (Back pressure) 0～0.7MPa ASK
