日本MRM空氣停止閥MPVA
日本MRM空氣停止閥MPVA
支持Pillar Super300/Super flare。
接液部全部用氟樹脂（PFA/PTFE）高耐腐蝕。
低發(fā)塵清潔（高表面粗糙度加工、精密清洗、平面密封結(jié)構(gòu)）。
MRM的安全構(gòu)造（高壓對策及熱循環(huán)對策）。
使用流體 (Fluid) 薬液?純水?気體 (Chemical liquid, DIW, Gas) ※2
流體溫度 (Fluid temperature range) 10?100℃
雰囲気溫度 (Atmospheric temperature) 0?40℃
接液部材質(zhì) (Materials of liquid flowed parts)
ボディ (Body) : PFA
ダイアフラム (Diaphragm) : PTFE
操作方式 (Operating system) 単動式 (Spring return actuation)
操作圧力 (Pneumatic supply pressure)
0.3MPa仕様 (0.3MPa specification) : 0.3?0.6MPa
0.5MPa仕様 (0.5MPa specification)
: 0.45?0.6MPa
0.7MPa仕様 (0.7MPa specification)
バルブサイズ (Valve size) 10 (3/8”) 15 (1/2”) 20 (3/4”) 25 (1”)
オリフィス (Orifice) Φ8 Φ10 Φ16 Φ22
流體圧力 (Fluid pressure range)
0.3MPa仕様
(0.3MPa specification)
IN→OUT 0?0.3MPa
背圧 (Back pressure) 0?0.3MPa 0?0.2MPa 0?0.1MPa
0.5MPa仕様
(0.5MPa specification)
IN→OUT 0?0.5MPa
背圧 (Back pressure) 0?0.5MPa
0.7MPa仕様
(0.7MPa specification)
IN→OUT 0?0.7MPa ASK
背圧 (Back pressure) 0?0.7MPa ASK
