讀取和控制氣體質(zhì)量流量而無需溫度或壓力補償
可提供經(jīng)濟型鋁制或耐腐蝕316 SS版本
可傾斜LCD顯示屏，便于讀取
NIST可追溯校準
讀取和控制氣體質(zhì)量流量而無需溫度或壓力補償
可提供經(jīng)濟型鋁制或耐腐蝕316 SS版本
可傾斜LCD顯示屏，便于讀取
產(chǎn)品描述
FMA5400A/5500A系列電子氣體質(zhì)量流量計可控制0~10 SCCM范圍內(nèi)高達100 SLM的多種氣體的流量。FMA5400A/5500A利用通過加熱管進行的熱傳遞測量氣體流量，可提供直接的氣體質(zhì)量流量測量值，并且無需對（規(guī)定限值以內(nèi)的）氣體溫度或壓力進行補償。 該產(chǎn)品可提供經(jīng)濟型鋁／銅結(jié)構(gòu)，適合測量普通氣體流量，同時可提供316不銹鋼結(jié)構(gòu)，適合有更高耐腐蝕要求的應用。不帶一體式顯示屏的FMA5400A系列流量計具有0 ~ -5Vdc和4 ~ 20 mA模擬量輸出，以便進行遠程監(jiān)測；FMA5500A系列流量計兼具一體式3-1/2位數(shù)字顯示屏和模擬量輸出。顯示屏可傾斜90度，查看讀數(shù)方便。顯示屏經(jīng)過校準，可直接顯示以SCCM或SLM為單位的氮氣流量（您可以通過專門訂購來獲得其它氣體校準）。
FMA5400A/5500A質(zhì)量流量控制器具有內(nèi)置常閉電磁閥，無論入口壓力或出口壓力如何變化，都能保持流量恒定。設定值可通過電位計（電位計可通過外殼中的訪問窗口訪問）進行本地控制，也可通過0-5 Vdc或4~20 mA模擬信號（現(xiàn)場可選）遠程控制。FMA5400A/5500A系列需要使用12~26Vdc電源（電流800 mA），F(xiàn)MA545PW墻壁插入式插座電源可滿足其要求。12~15 Vdc功率@ 800 mA值（43、44、45的規(guī)格）。型號為FMA545C（單獨提供）的配件提供配接式15針""D""型連接器，帶8英尺屏蔽電纜用于訪問模擬輸出信號和電源輸入連接。FMA5500A系列配備的LCD通過通訊插頭與下面的電子設備相連。通過購買FMA18RC遠程電纜組件可以遠程安裝LCD，之后，您必須自行組裝組件以便進行LCD的面板安裝。
產(chǎn)品規(guī)格
精度:對于滿量程小于100 SLM ±1% FS的裝置，在15~25°C（59~77°F）和
0.7~4.2 kg/cm2（10~60 psia）下具有線性度。對于≥100 SLM的裝置，滿量程：±1.5% FS，在15~25°C（59~77°F）和 0.7~4.2 kg/cm2（10~60 psia）下在20~99%的范圍內(nèi)具有線性度；在0~20%的范圍內(nèi)為±3% FS。
重復性：＆plusmn; 0.5％滿量程
溫度系數(shù)：0.15% FS/°C
壓力系數(shù)：每psi 0.01％FS（0.07 bar）
壓降：50 psid
響應時間：在25％~100％FS范圍內(nèi)，5秒處于設定流量的±2%范圍內(nèi)
氣壓：70 kg/cm2表壓（1000 psig）（適用于100 SLM的裝置）； 35 kg/cm2表壓（500 psig）；1.76 kg/cm（25 psig）
氣體和環(huán)境溫度：5~50°C（41~122°F）
泄露率：對外界環(huán)境的泄漏率為1×10-7 cc/sec氦氣
接液材質(zhì)：
鋁制流量計：陽極氧化鋁，316 SS，黃銅和FKM O形圈
不銹鋼型號：316 SS 和 FKM O型圈
輸出信號：
線性0~5 Vdc：1000 Ω最小負載
4~20 mA：50~500 Ω 環(huán)路電阻，±20 mV 噪聲
傳感器電源：12~26 Vdc @ 800 mA 標準 量程比：40:1
裝運重量：1.8 kg (4 lb)
合規(guī)性：EN55011 1類，B類；EN50082-1
海拔靈敏度：水平流徑，傾斜到20°，校準也不會發(fā)生偏移
氣體相對濕度:0~70% RH
最小壓降
SLM≤910-305060~1002005001000
psid1.13.9818.9101215
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