● 確保 1% 設(shè)定點精度（流量≥5%）
● 高重復(fù)性（≤±0.15% 設(shè)定點/流量≥5%）
● 范圍控制廣（0.5-99% 滿量程）
● 可調(diào)響應(yīng)（300ms≤t≤1000ms）
● 高操作溫度（15-60℃）
● 低閥座泄漏（≤0.1% 滿量程/#01-#06）
● 高耐腐蝕性設(shè)計
基本特征
多氣體/多量程功能，客戶可以更改氣體類型和滿量程流量
穩(wěn)定控制氣流，不受上流和下流壓力波動的影響
集成多重顯示
超潔凈設(shè)計：金屬隔膜，全不銹鋼 SUS-316L 和拋光表面處理（標(biāo)準(zhǔn)）
尺寸緊湊，50 SLM 以內(nèi)采用相同的安裝尺寸
信號兼容：支持 EtherCAT 和 DeviceNet 通訊模式
主要特征
確保 1% 設(shè)定點精度（流量≥5%）
高重復(fù)性（≤±0.15% 設(shè)定點/流量≥5%）
范圍控制廣（0.5-99% 滿量程）
可調(diào)響應(yīng)（300ms≤t≤1000ms）
高操作溫度（15-60℃）
低閥座泄漏（≤0.1% 滿量程/#01-#06）
高耐腐蝕性設(shè)計
技術(shù)參數(shù)：
