SKY® CDG025D-X3 0.1 ... 1000 托 / 毫巴過程壓力真空計
INFICON SKY CDG025D
電容膜片真空計屬于高精度溫度補償型真空計，在苛刻的生產(chǎn)環(huán)境中具有穩(wěn)定的性能。 *的數(shù)字電子設(shè)備提高真空計的性能和易于使用的特點，如一鍵調(diào)零功能和設(shè)定點調(diào)整。
抗腐蝕性的超純陶瓷傳感器具有的零點穩(wěn)定性和預(yù)計數(shù)百萬次壓強周期（包括大氣沖擊）的長使用壽命。 的傳感器屏蔽（申請中）保護真空計免受過程污染。
堅固耐用的機械設(shè)計和數(shù)字電子設(shè)備改善了 EMC 兼容性、長期穩(wěn)定性和溫度補償。 CDG025D
為電源接通后的快速穩(wěn)定與暴露大氣壓后的快速恢復(fù)等特性設(shè)定了新標(biāo)準。
益處
- 全刻度范圍從 100 毫托 … 1000 托
- 電源接通后快速穩(wěn)定
- 暴露于大氣壓后快速恢復(fù)
- 防腐陶瓷傳感器
- 的長期信號穩(wěn)定性
- 溫度補償
- 傳感器防污染雙層保護
- 一鍵調(diào)零功能
- 電源范圍廣
- 2 個設(shè)定點
- RS232 接口
- 符合潔凈室標(biāo)準
典型應(yīng)用
- 用于刻蝕、CVD、PVD、ALD 的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備
- 數(shù)據(jù)存儲和顯示制造設(shè)備
- 工業(yè)真空設(shè)備
- 常規(guī)高精度壓力測量
規(guī)格
| 類型 | 1000 Torr / 1100 mbar | 500 ... 10 Torr / mbar | 1 Torr / mbar | 0.25 Torr | 0.1 Torr / mbar | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 精度 (1) | % of reading | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.25 | 0.5 |
| 溫度效應(yīng) | ||||||
| 零點 | percent FS/°C | 0.005 | 0.005 | 0.015 | 0.02 | 0.02 |
| 滿量程 | % of reading / °C | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.03 | 0.03 |
| 分辨率 | percent FS | 0.003 | 0.003 | 0.003 | 0.003 | 0.003 |
| 壓力， | kPa (absolute) | 400 | 260 | 260 | 130 | 130 |
| 反應(yīng)時間 (2) | ms | 30 | 30 | 30 | 130 | 130 / 30 (3) |
| 讀數(shù) | percent FS | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
| 建議的讀數(shù) | percent FS | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | 0.05 |
| 建議的控制壓力 | percent FS | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| 溫度 | ||||||
| 運行（環(huán)境） | °C | +5 … +50 | +5 … +50 | +5 … +50 | +5 … +50 | +5 … +50 |
| 在法蘭處烘烤 (4) | °C | ≤110 | ≤110 | ≤110 | ≤110 | ≤110 |
| 貯存 | °C | –40 … +65 | –40 … +65 | –40 … +65 | –40 … +65 | –40 … +65 |
| 電源電壓 | V (dc) | +14 … +30 | +14 … +30 | +14 … +30 | +14 … +30 | +14 … +30 |
| 功耗 | W | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 |
| 輸出信號（模擬） | V (dc) | 0 … +10 | 0 … +10 | 0 … +10 | 0 … +10 | 0 … +10 |
| 保護等級 | IP 30 | IP 30 | IP 30 | IP 30 | IP 30 | |
| 標(biāo)準 | ||||||
| CE 合規(guī) | EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS | |
| ETL 認證 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1 | |
| 電氣連接 | D-Sub, 15-pin, male | D-Sub, 15-pin, male | D-Sub, 15-pin, male | D-Sub, 15-pin, male | D-Sub, 15-pin, male | |
| 設(shè)定點 | ||||||
| 設(shè)定點數(shù)量 | 2 (SP1,SP2) | 2 (SP1,SP2) | 2 (SP1,SP2) | 2 (SP1,SP2) | 2 (SP1,SP2) | |
| 繼電器觸點 | V (dc)A (dc) | 30 | 30 | 30 | 30 | 30 |
| 滯后 | percent FS | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 暴露于真空的材料 | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5)) | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5)) | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5)) | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5)) | Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5)) | |
| 內(nèi)部容積 | ||||||
| 內(nèi)部容積 1/2'' 管 | cm3 (in.3) | 3.6 (0.22) | 3.6 (0.22) | 3.6 (0.22) | 3.6 (0.22) | 3.6 (0.22) |
| 內(nèi)部容積 DN 16 ISO KF | cm3 (in.3) | 3.6 (0.22) | 3.6 (0.22) | 3.6 (0.22) | 3.6 (0.22) | 3.6 (0.22) |
| 內(nèi)部容積 DN 16 CF-R | cm3 (in.3) | 3.6 (0.22) | 3.6 (0.22) | 3.6 (0.22) | 3.6 (0.22) | 3.6 (0.22) |
| 內(nèi)部容積 8 VCR® | cm3 (in.3) | 3.6 (0.22) | 3.6 (0.22) | 3.6 (0.22) | 3.6 (0.22) | 3.6 (0.22) |
| 重量 | ||||||
| 重量 1/2'' 管 | g | 310 | 310 | 310 | 310 | 310 |
| 重量 DN 16 ISO KF | g | 330 | 330 | 330 | 330 | 330 |
| 重量 DN 16 CF-R | g | 350 | 350 | 350 | 350 | 350 |
| 重量 8 VCR® | g | 370 | 370 | 370 | 370 | 370 |
(1) 25 °C 環(huán)境溫度時非線性、滯后、可重復(fù)，運行 2 小時后不產(chǎn)生溫度效應(yīng)。
(2) 增加 10 ...90 % FS
(3) 僅適用于壓力控制類型
