工業(yè)發(fā)展推動了氣體行業(yè)的飛速發(fā)展，對高純氣、超純氣、電子氣、特種氣體的需求也大大提升了，提升的不僅僅是用量，質(zhì)量要求也更加高。氣體提純工藝和檢測成為了各大氣體生產(chǎn)單位需要緊迫解決的問題。對于氣體的檢測也隨著工業(yè)需求在逐步的向前推進，氦離子化檢測器也越來越普遍地被應(yīng)用在高純氣、電子氣中痕量雜質(zhì)的檢測。
目前國內(nèi)在高純氣體分析領(lǐng)域多數(shù)采用的熱導(dǎo)（TCD）檢測器由于靈敏度有限，很難測定5ppm以下的雜質(zhì)；氧化鋯檢測器由于是一種選擇性的檢測器，只能分析少數(shù)幾種氣體雜質(zhì)；而氬離子檢測器又往往帶有放射源。均不能很好的滿足高純氣體分析的基本要求。
氦離子氣相色譜儀適用于高純氣體和電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測，蕞小檢測濃度可達(dá)5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器，適用于高純氫、氧、氬、氮、氦、氖、氪、氙、二氧化碳等氣體中痕量雜質(zhì)的檢測，一次性完成上述高純氣體中H2、O2（Ar）、N2、CH4、CO、CO2等常見雜質(zhì)或C1-C4等碳?xì)浠衔锏臋z測，檢測限達(dá)ppb級，重復(fù)性RSD≤1％。
一、適用標(biāo)準(zhǔn)：
GB/T3634.2《純氫、高純氫和超純氫》 GB/T 14599《純氧、高純氧和超純氧》
GB/T 8979《純氮、高純氮和超純氮》 GB/T 4842《氬》
GB/T 4844 《純氦、高純氦和超純氦》 GB/T 17873《純氖》
GB/T 5829《氪氣》 GB/T 5828《氙氣》
HG/T 3633《純甲烷》 GB 10621《食品添加劑 液體二氧化碳》
GB/T 23938 《高純二氧化碳》 GB/T 28125.1《空分工藝中危險物質(zhì)的測定》
雜質(zhì)種類： H2 O2 N2 CO CH4 CO2 C2H4 C2H6 C2H2 N2O 苯
檢測限（ppb）： 5 10 10 25 5 5 10 10 10 5 1
儀器系統(tǒng)配置：
GC-20氣相色譜儀主機
中心切割及反吹系統(tǒng)
分析柱（1套）
PDHID檢測器
電腦反控色譜工作站
標(biāo)準(zhǔn)氣體
氣體取樣閥
高純氦（純度>99.999％）
He純化器
載氣減壓閥（雙極全不銹鋼、無滲透無死體積）
金屬過濾系統(tǒng)
