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上海伯東代理原子層沉積設(shè)備 Thermal ALD

參考價(jià)
1000000-10000000
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào)
  • 品牌其他品牌
  • 所在地上海市
  • 更新時(shí)間2023-02-09
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 入駐年限1
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量200
  • 人氣值3404
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位于中國(guó)上海浦東外高橋保稅區(qū)的伯東企業(yè)(上海)有限公司創(chuàng)建于1995年12月,, 是日本伯東株式會(huì)社獨(dú)資設(shè)立的外商投資企業(yè),公司注冊(cè)資金為200萬(wàn)美元,到目前為止公司從業(yè)員工有400多人。
伯東企業(yè)(上海)有限公司真空產(chǎn)品事業(yè)部()專業(yè)銷售及維修德國(guó)Pfeiffer單雙級(jí)旋片泵,干泵,羅茨泵,分子泵;應(yīng)用于各種條件下的真空測(cè)量(真空計(jì), 真空規(guī)管);檢漏儀,質(zhì)譜儀,真空系統(tǒng)等等, 維修技術(shù)力量雄厚,保證 100 % 擁有標(biāo)準(zhǔn)的德國(guó)Pfeiffer原廠測(cè)試設(shè)備及調(diào)整工具和德國(guó)Pfeiffer專業(yè)培訓(xùn)工程師,多年來(lái)致力于真空系統(tǒng)的安裝、調(diào)試、維修、拆機(jī)、保養(yǎng)等,具有優(yōu)良的專業(yè)技能和服務(wù)意識(shí),并獲得原廠*維修資質(zhì)證書。利用 Pfeiffer 進(jìn)口檢測(cè)設(shè)備對(duì)維修后的產(chǎn)品做*性能測(cè)試。另外公司還代理美國(guó)Brooks  CTI Cryopump 冷凝泵/低溫泵, Polycold 冷凍機(jī)和美國(guó)KRI 離子源,HVA 高真空閥門。公司一直堅(jiān)持品質(zhì)*、信譽(yù)*的原則,為廣大客戶提供了高品質(zhì)的產(chǎn)品以及良好的售后服務(wù)。到目前為止已先后通過(guò)了美國(guó)UL安全認(rèn)證、ISO9001-2000質(zhì)量體系認(rèn)證、ISO14001-1996環(huán)境體系認(rèn)證。公司將在今后的發(fā)展中秉承以人為本,不斷開拓進(jìn)取的精神,為滿足客戶的需求努力向?qū)I(yè)化、優(yōu)質(zhì)化、集團(tuán)化發(fā)展。

為將國(guó)外的高科技產(chǎn)品與中國(guó)經(jīng)濟(jì)和社會(huì)的飛速發(fā)展緊密結(jié)合,為促進(jìn)國(guó)內(nèi).貿(mào)易的快速發(fā)展,伯東企業(yè)(上海)有限公司,以高科技推動(dòng)現(xiàn)代化,以高質(zhì)量服務(wù)全中國(guó), 堅(jiān)持不懈,奮斗不息。伯東公司是一家專業(yè)代理公司,代理上公司的 半導(dǎo)體設(shè)備.接插件.電子器件.精密儀器等,公司秉承 改革.創(chuàng)新.求真.發(fā)展的基本原則, 精心構(gòu)建誠(chéng)信、互動(dòng)、共贏的價(jià)值體系, 為所有的客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品, 同時(shí),提供全伯東集團(tuán)網(wǎng)絡(luò)支持下的較早.Z快的信息與Z及時(shí)周到的服務(wù),伯東公司愿意與世界各地的客戶聯(lián)手合作,共建一個(gè)誠(chéng)信.發(fā)展.共同進(jìn)步的良好環(huán)境.

 

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產(chǎn)地進(jìn)口 加工定制 適用領(lǐng)域其他
熱沉積式的 ALD 需要較高的制程溫度 (傳統(tǒng)為 150-350°C). 上海伯東代理原子層沉積設(shè)備可以精準(zhǔn)的控制 ALD 的制程, 薄膜的厚度和均勻度皆小于 +/- 1%, 廣泛應(yīng)用于 OLED 和硅太陽(yáng)能電池的鈍化層, 微機(jī)電系統(tǒng), 納米電子學(xué), 納米孔結(jié)構(gòu)薄膜, 光學(xué)薄膜, 薄膜封裝技術(shù)等領(lǐng)域.
上海伯東代理原子層沉積設(shè)備 Thermal ALD 產(chǎn)品詳情

因產(chǎn)品配置不同, 價(jià)格貨期需要電議, 圖片僅供參考, 一切以實(shí)際成交合同為準(zhǔn)

原子層沉積設(shè)備 Thermal ALD

原子層沉積 ALD 是基于順序使用氣相化學(xué)過(guò)程的重要技術(shù)之一, 它可以被視為一種特殊類型的化學(xué)氣相沉積 CVD . 多數(shù) ALD反應(yīng)使用兩種或更多種化學(xué)物質(zhì)(稱為前驅(qū)物, 也稱為“反應(yīng)物”). 這些前驅(qū)物以一種連續(xù)的且自我限制的方式, 一次與一種材料的表面反應(yīng). 通過(guò)多個(gè) ALD 循環(huán), 緩慢地沉積薄膜.

熱沉積式的 ALD 需要較高的制程溫度 (傳統(tǒng)為 150-350°C). 上海伯東代理原子層沉積設(shè)備可以精準(zhǔn)的控制 ALD 的制程, 薄膜的厚度和均勻度皆小于 +/- 1%, 廣泛應(yīng)用于 OLED 和硅太陽(yáng)能電池的鈍化層, 微機(jī)電系統(tǒng), 納米電子學(xué), 納米孔結(jié)構(gòu)薄膜, 光學(xué)薄膜, 薄膜封裝技術(shù)等領(lǐng)域.

上海伯東原子層沉積設(shè)備配置和優(yōu)點(diǎn)
ALD 具有許多優(yōu)點(diǎn), 例如出色的均勻性, 在復(fù)雜形狀的基板表面上沉積的具有相同膜厚的膜保形性, 低溫處理. 因此, ALD 被廣泛應(yīng)用于微電子, 納米技術(shù)和生物技術(shù)領(lǐng)域中.
客制化的基板尺寸, z大直徑可達(dá) 300mm 晶圓
優(yōu)異的薄膜均勻度小于 ±1%
較高的深寬比和復(fù)雜結(jié)構(gòu)具有相同特性之薄膜沉積
薄膜具有高致密性
前驅(qū)物材料可多達(dá) 6種并可分別加熱到 200°C
快速脈沖的氣體輸送閥, 反應(yīng)時(shí)間為 10毫秒
通過(guò)穩(wěn)定的溫度控制, 將基板載臺(tái)加熱到 400°C
材料: Al2O3, HfO2, SiO2, TiO2, Ta2O5, ZnO, AZO, HfO2, SiO2, TiO2, GaO2, AlN, SiN, Pt … 等等

原子層沉積設(shè)備腔體和選件
原子層沉積設(shè)備腔體為鋁腔或者不銹鋼腔體, 其占地面積小, 可縮短制程時(shí)間, 通過(guò)使用水冷系統(tǒng), 加熱器或加熱包來(lái)控制腔體溫度.
設(shè)備可以與傳送腔, 機(jī)械手臂和手套箱整合在一起, 搭配使用橢圓偏振光譜儀和高真空傳送系統(tǒng).

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上海伯東: 羅先生 


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