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  • 上海伯東代理SYSKEY超高真空電子束蒸鍍?cè)O(shè)備

上海伯東代理SYSKEY超高真空電子束蒸鍍?cè)O(shè)備

參考價(jià)
1000000-10000000
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào)
  • 品牌其他品牌
  • 所在地上海市
  • 更新時(shí)間2023-02-09
  • 廠商性質(zhì)代理商
  • 入駐年限1
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量200
  • 人氣值3426
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位于中國(guó)上海浦東外高橋保稅區(qū)的伯東企業(yè)(上海)有限公司創(chuàng)建于1995年12月,, 是日本伯東株式會(huì)社獨(dú)資設(shè)立的外商投資企業(yè),公司注冊(cè)資金為200萬(wàn)美元,到目前為止公司從業(yè)員工有400多人。
伯東企業(yè)(上海)有限公司真空產(chǎn)品事業(yè)部()專業(yè)銷售及維修德國(guó)Pfeiffer單雙級(jí)旋片泵,干泵,羅茨泵,分子泵;應(yīng)用于各種條件下的真空測(cè)量(真空計(jì), 真空規(guī)管);檢漏儀,質(zhì)譜儀,真空系統(tǒng)等等, 維修技術(shù)力量雄厚,保證 100 % 擁有標(biāo)準(zhǔn)的德國(guó)Pfeiffer原廠測(cè)試設(shè)備及調(diào)整工具和德國(guó)Pfeiffer專業(yè)培訓(xùn)工程師,多年來(lái)致力于真空系統(tǒng)的安裝、調(diào)試、維修、拆機(jī)、保養(yǎng)等,具有優(yōu)良的專業(yè)技能和服務(wù)意識(shí),并獲得原廠*維修資質(zhì)證書。利用 Pfeiffer 進(jìn)口檢測(cè)設(shè)備對(duì)維修后的產(chǎn)品做*性能測(cè)試。另外公司還代理美國(guó)Brooks  CTI Cryopump 冷凝泵/低溫泵, Polycold 冷凍機(jī)和美國(guó)KRI 離子源,HVA 高真空閥門。公司一直堅(jiān)持品質(zhì)*、信譽(yù)*的原則,為廣大客戶提供了高品質(zhì)的產(chǎn)品以及良好的售后服務(wù)。到目前為止已先后通過(guò)了美國(guó)UL安全認(rèn)證、ISO9001-2000質(zhì)量體系認(rèn)證、ISO14001-1996環(huán)境體系認(rèn)證。公司將在今后的發(fā)展中秉承以人為本,不斷開(kāi)拓進(jìn)取的精神,為滿足客戶的需求努力向?qū)I(yè)化、優(yōu)質(zhì)化、集團(tuán)化發(fā)展。

為將國(guó)外的高科技產(chǎn)品與中國(guó)經(jīng)濟(jì)和社會(huì)的飛速發(fā)展緊密結(jié)合,為促進(jìn)國(guó)內(nèi).貿(mào)易的快速發(fā)展,伯東企業(yè)(上海)有限公司,以高科技推動(dòng)現(xiàn)代化,以高質(zhì)量服務(wù)全中國(guó), 堅(jiān)持不懈,奮斗不息。伯東公司是一家專業(yè)代理公司,代理上公司的 半導(dǎo)體設(shè)備.接插件.電子器件.精密儀器等,公司秉承 改革.創(chuàng)新.求真.發(fā)展的基本原則, 精心構(gòu)建誠(chéng)信、互動(dòng)、共贏的價(jià)值體系, 為所有的客戶提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品, 同時(shí),提供全伯東集團(tuán)網(wǎng)絡(luò)支持下的較早.Z快的信息與Z及時(shí)周到的服務(wù),伯東公司愿意與世界各地的客戶聯(lián)手合作,共建一個(gè)誠(chéng)信.發(fā)展.共同進(jìn)步的良好環(huán)境.

 

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產(chǎn)地進(jìn)口 加工定制 適用領(lǐng)域其他
上海伯東代理 SYSKEY 中國(guó)臺(tái)灣矽碁科技超高真空電子束蒸鍍?cè)O(shè)備腔體極限真空度約為 10-10Torr, 針對(duì)超高真空和高溫加熱設(shè)計(jì)基板旋轉(zhuǎn)鍍膜機(jī)構(gòu), 使用陶瓷培林旋轉(zhuǎn), 并在內(nèi)部做水冷循環(huán)來(lái)保護(hù)機(jī)構(gòu)以確保長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)的穩(wěn)定性, 可以提供高質(zhì)量的薄膜, 薄膜均勻度小于 ±3%.
上海伯東代理SYSKEY超高真空電子束蒸鍍?cè)O(shè)備 產(chǎn)品詳情

因產(chǎn)品配置不同, 價(jià)格貨期需要電議, 圖片僅供參考, 一切以實(shí)際成交合同為準(zhǔn)

 

超高真空電子束蒸鍍?cè)O(shè)備 UHV E-beam Evaporation System

超高真空電子束蒸鍍?cè)O(shè)備 UHV E-beam Evaporation System
超高真空環(huán)境的特征為其真空壓力低于 10-8至10-12 Torr, 在化學(xué)物理和工程領(lǐng)域十分常見(jiàn). 超高真空環(huán)境對(duì)于科學(xué)研究非常重要, 因?yàn)閷?shí)驗(yàn)通常要求, 在整個(gè)實(shí)驗(yàn)過(guò)程中, 表面應(yīng)保持無(wú)污染狀態(tài)和使用較低能量的電子和離子的實(shí)驗(yàn)技術(shù)的使用, 而不會(huì)受到氣相散射的過(guò)度干擾. 在這樣超高真空環(huán)境下使用電子束蒸鍍,

上海伯東代理 SYSKEY 中國(guó)臺(tái)灣矽碁科技超高真空電子束蒸鍍?cè)O(shè)備腔體極限真空度約為 10-10Torr, 針對(duì)超高真空和高溫加熱設(shè)計(jì)基板旋轉(zhuǎn)鍍膜機(jī)構(gòu), 使用陶瓷培林旋轉(zhuǎn), 并在內(nèi)部做水冷循環(huán)來(lái)保護(hù)機(jī)構(gòu)以確保長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)的穩(wěn)定性, 可以提供高質(zhì)量的薄膜, 薄膜均勻度小于 ±3%.
超高真空電子束蒸鍍?cè)O(shè)備陶瓷培林旋轉(zhuǎn)

超高真空電子束蒸鍍配置和優(yōu)點(diǎn)
客制化的基板尺寸, z大直徑可達(dá) 8吋晶圓
薄膜均勻度小于 ±3%
具有水冷坩堝的多組坩鍋旋轉(zhuǎn)電子束源 (1/2/4/6坩堝)
自動(dòng)鍍膜系統(tǒng)
具有順序操作或共沉積的多個(gè)電子束源
基板具有冷卻 ( 液態(tài)氮溫度低至-70°C ) 或加熱 ( 溫度z高800°C ) 等功能

電子束蒸鍍?cè)O(shè)備基本參數(shù)

系統(tǒng)

Real 超高真空

超高真空

高真空

極限真空

5X10-10 Torr

5X10-9 Torr

3X10-7 Torr

腔室密封

全部 CF

一些密封圈

全部密封圈

Load-lock

標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)

可選

E-beam 源

4-6 坩堝
7-25 cc

4-6 坩堝
7-25 cc

4-6 坩堝
7-25 cc

基板

4-8 英寸
加熱 / 水冷 / 液氮冷卻

4-8 英寸
加熱 / 水冷 / 液氮冷卻

4-8 英寸
加熱 / 水冷 / 液氮冷卻

真空泵

低溫泵

低溫泵 / 分子泵

低溫泵 / 分子泵

監(jiān)控

真空規(guī) 和 QCM

真空規(guī) 和 QCM

真空規(guī) 和 QCM

工藝控制

速率控制

速率控制

速率控制

供氣

氮?dú)?/p>

氮?dú)?/p>

氮?dú)?/p>

SYSKEY矽碁科技
 SYSKEY 矽碁電子束蒸發(fā)系統(tǒng)

腔體
客制化的腔體尺寸取決于基板尺寸和其應(yīng)用
腔體為使用金屬密封圈并可烘烤至 150°C
腔體的極限真空度約為 10-10Torr

選件
可以與傳送腔, 機(jī)械手臂和手套箱整合在一起
結(jié)合美國(guó) KRi 離子源, 濺鍍槍, 熱蒸發(fā)源, 等離子清潔...

應(yīng)用領(lǐng)域
光學(xué)材料研究 (LED / Laser Diode)
光電元件
半導(dǎo)體元件

對(duì)傳統(tǒng)熱蒸發(fā)技術(shù)難以實(shí)現(xiàn)的材料蒸發(fā), 可采用電子束蒸發(fā)的方式來(lái)實(shí)現(xiàn). 不同于傳統(tǒng)的輻射加熱和電阻絲加熱, 高能電子束轟擊可實(shí)現(xiàn)超過(guò) 3000℃ 的局域高溫, 這使得絕大部分常用材料都可以被蒸發(fā)出來(lái), 甚至是高熔點(diǎn)的材料, 例如, Pt, W, Mo, Ta 以及一些氧化物, 陶瓷材料等. 上海伯東代理的電子束蒸發(fā)源可承載 1-6種不同的材料, 實(shí)現(xiàn)多層膜工藝; 蒸發(fā)源本身防污染設(shè)計(jì), 使得不同材料之間的交叉污染降到盡可能低.

若您需要進(jìn)一步的了解電子束蒸鍍?cè)O(shè)備詳細(xì)信息或討論, 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式
上海伯東: 羅先生         


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