Park Systems原子力顯微鏡 XE-7
儀器簡介:
的納米領(lǐng)域研究利器。的三軸分離設(shè)計(jì),既保證了XYZ三個(gè)方向無耦合效應(yīng),從原理上消除了平面扭曲誤差;同時(shí)獨(dú)立的Z軸掃描器,實(shí)現(xiàn)了真正的非接觸式掃描,極大地?cái)U(kuò)展了樣品適用范圍。自上而下的直視光路,方便用戶對探針和樣品的觀察,專門設(shè)計(jì)的探針安裝方式,簡化了光路調(diào)整過程,降低了操作難度。
Park Systems原子力顯微鏡 XE-7技術(shù)參數(shù):
掃描器
XY掃描器
柔性制導(dǎo)閉環(huán)控制單模塊掃描器
掃描范圍10μm*10μm(可選50μm*50μm ,100μm*100μm)
平面偏移度:<2nm(40μm*40μm掃描)
Z掃描器
柔性制導(dǎo)強(qiáng)力掃描器
掃描范圍12μm(可選25μm)
共振頻率:>5kHz
表面成像噪聲:0.03nm
樣品臺
樣品尺寸: 100mm*100mm*20mm
樣品重量:zui大500g
樣品臺移動范圍:13mm*13mm
主要特點(diǎn):
一、精確的XY方向掃描,消除了交叉耦合誤差
●使用獨(dú)立的閉環(huán)XY平板式掃描器和Z軸掃描器
●平板式的掃描掃描器,殘留彎曲誤差極小
●整個(gè)掃描范圍內(nèi)的水平線性誤差小于2nm
●精確的高度測量
二、Non-Contact™(真正非接觸) 模式能夠延長針尖壽命,提供高分辨率及保護(hù)樣品
●Z伺服速度是壓電陶瓷管的10倍
●非接觸模式可降低針尖磨損、延長使用壽命
●成像分辨率優(yōu)于同類原子顯微鏡
●增強(qiáng)樣品兼容性,提高掃描精度
三、zui豐富的功能拓展
●支持多種SPM模式
●支持多種選配測量模式
●支持各種可選配件,擴(kuò)展性能*
四、zui為便利的使用設(shè)計(jì)
●開放式樣品空間,提高樣品及針尖更換效率
●預(yù)對準(zhǔn)針尖安裝和同軸直視光路直觀地實(shí)現(xiàn)激光對準(zhǔn)
●燕尾鎖方便掃描頭拆卸