MKS MultiGas? 6030傅里葉紅外氣體分析儀是以傅利葉變換紅外為基礎(chǔ)的多氣體光譜分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度。廣泛用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝控制和監(jiān)控，氣體純度和組成分析，環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視。MultiGas? 6030能 分析含有高達(dá)40%水的氣流，能同時(shí)分析和顯示多達(dá)30種氣體。分析儀儲(chǔ)存了校準(zhǔn)光譜，故省出了氣體筒的成本。另外，操作者也會(huì)發(fā)現(xiàn)MultiGas? 6030操作簡便，易于維護(hù)。

MultiGas? 6030傅里葉紅外氣體分析儀由保護(hù)的2102傅利葉變換紅外制成分光計(jì)，高光通量取樣單元，專業(yè)分析軟件及獨(dú)立的定量光譜庫組成。MultiGas? 6030收集高分辨率 的紅外光譜與定量光譜庫分析，提供絕大多數(shù)氣體及水蒸氣的高精度，高靈敏度測量。

特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)

? 10ppb-99%靈敏度對于絕大多數(shù)有毒有害氣體

? 易于移動(dòng)從一處移到另一處，設(shè)置僅需幾分鐘

?  同時(shí)分析和顯示多達(dá)30種氣體

?  分析儀儲(chǔ)存了校準(zhǔn)光譜，省去了氣體筒的成本

? 取樣氣體在進(jìn)入分析室前加熱并維持恒定 溫度

應(yīng)用

? 煙囪監(jiān)測器

? 工藝監(jiān)測改進(jìn)和優(yōu)化

? 空氣環(huán)境分析

? 保護(hù)的線性檢測器，確保所有分析儀維持在相同的校準(zhǔn)條件下

? 頻率和分辨率診斷，確保校準(zhǔn)恒定

? 提供自動(dòng)溫度和壓力補(bǔ)償以確保分析精度

? 用戶操作簡便軟件界面，稍加培訓(xùn)即可操作

? 氣體純度分析

? 燃燒排放監(jiān)測

? 選擇性硅整流催化還原性能監(jiān)測

光譜分析

Multigas的分析器有個(gè)具有定量和多功能 的分析軟件，它能同時(shí)分析和報(bào)道許多混合 物的濃度，這個(gè)能在個(gè)人電腦上運(yùn)行的軟件，能對分析器直接量測到的氣體溫度和壓力的 變化進(jìn)行自動(dòng)修正。樣本的收集和分析在一 秒內(nèi)完成，進(jìn)行瞬時(shí)分析。

整個(gè)數(shù)據(jù)整理過程中，MultiGas 軟件一 邊計(jì)算SETUP里面選擇氣體的濃度，一邊不 斷的收集和描繪光譜。顯示形式包括濃度歷 史的圖表和列表形式，測得的光譜和殘余光 譜。這個(gè)殘余光譜能被用來確定分析的誤差，使得QA/QC變得簡單和真實(shí)。當(dāng)解決了所有 被提及的光譜后，殘留光譜就描繪“剩余的” 光譜信息一次。一旦光譜被收集和保存，這 些光譜可以在任何時(shí)候利用同樣或不同的零 點(diǎn)設(shè)定進(jìn)行再工藝。

對應(yīng)環(huán)境和工藝監(jiān)控的特殊設(shè)計(jì)， 2102傅利葉變換紅外分光計(jì)是緊湊和粗糙 的，能夠在0.5cm-1的光譜決議上操作，是 可用的處理FTIR方式中速，靈敏和穩(wěn)定的！另外，它能在在惡劣環(huán)境下操作， 具有對高溫，振動(dòng)和溫度變化的免

疫。更可貴的是，高速率的數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)是 標(biāo)準(zhǔn)的，為分析提供低噪音的紅外光譜。

這個(gè)分光計(jì)連接到一個(gè)小體積(200mL) 多變換，有5.11米有效通道的取得的 氣室，這個(gè)氣室的設(shè)計(jì)結(jié)合了非球面的， 非端正的鏡子，它能為傳統(tǒng)的多變換氣室提 供兩倍光學(xué)吞吐量。做為選擇，一個(gè)單變換的氣室能用于很高濃度的高腐蝕或者強(qiáng)吸收 率的氣體，任何一種氣室在環(huán)境溫度到191℃之間操作。

儀器的自主校準(zhǔn)

MultiGas 的軟件有多點(diǎn)校準(zhǔn)圖，能提供 一個(gè)動(dòng)態(tài)的范圍至10-9的的數(shù)量級(jí).許多核數(shù) 的校準(zhǔn)都由其提供，另外，用戶也可以通過 已知的濃度來進(jìn)行校準(zhǔn)。MultiGas 軟件檢驗(yàn)每個(gè)工具的性能的效用，使它能把一個(gè)已經(jīng)在一臺(tái)機(jī)器上校準(zhǔn)的的值用于其他任何一臺(tái) 機(jī)器上，而且不用變更。

規(guī)格

分析儀主機(jī)

測試技術(shù) 傅利葉變換紅外光譜 可測試氣體或水蒸氣 絕大多數(shù)分子除了氮?dú)?，氧氣和氫?范圍 濃度從10ppb到99%

傅利葉變換紅外 2102制成傅利葉變換紅外

光譜分辨率 0.5 - 128cm-1

掃描速度 每秒1次在0.5cm-1

掃描時(shí)間 1 – 300秒

紅外源 碳化硅在1200℃

參考激光 氦氖（15798.2cm-1）

檢測器 液氮冷卻MCT或半導(dǎo)體制冷冷卻MCT（汞-鎘-碲化物）

清潔(Purge)壓力 20PSI(1.5bar)

光譜室Purge流量 0.2升/分，干燥氮?dú)饣蚵饵c(diǎn)在-70℃以下無二氧化碳的

干燥空氣

光學(xué)系統(tǒng)Purge流量 0.2升/分，干燥氮?dú)饣蚵饵c(diǎn)在-70℃以下無二氧化碳的

干燥空氣

壓力傳感器 MKS Baratron? 電容式薄膜壓力傳感器

Purge連接 Swagelok? 快速接頭

電腦要求 臺(tái)式或筆記本電腦帶Intel奔騰?處理器,微軟Wingdows?

XP操作系統(tǒng)，1024 X 768顯示

通訊口 RJ-45的交叉以太網(wǎng)

輸出選件 XML，模擬，AK，其他

尺寸 445mm寬 X 318mm高 X 648mm深

安裝 可安裝于19英寸標(biāo)準(zhǔn)機(jī)柜

電源 110V或220V，50/60hz，3A

重量 50公斤

分析儀采樣參數(shù)

采樣溫度 室溫至200℃（取決于校準(zhǔn)溫度）

采樣速流 0.2 – 10升/分

采樣壓力 0.01 – 4大氣壓（取決于校準(zhǔn)壓力）