型號 | V1000 | V1000X | V1000XS |
等離子模式 | DP/RIE | ||
高頻電源 | 13.56MHz | ||
輸出功率 | Max1000W | Max1000 & 1500W | |
有效電極尺寸 | W280×D280mm | W300×D300mm | W400×D375mm |
電極 | 平行平板 | 2段電極(獨(dú)立) | 平板(多目的) |
反應(yīng)氣體 | 聚合控制器2系統(tǒng)(填充氣路另行安裝) | ||
真空泵(標(biāo)配) | 約1000L/min | 約1500L/min | 1000 & 1500L/min |
安全裝置 | 門檢測開關(guān)、聯(lián)鎖機(jī)構(gòu)、緊急停止開關(guān)、溫度過升防止器等 |