型號 | PDC200 | PDC210 | PDC510 |
等離子模式 | RIE(DP模式選配) | RIE/DP | |
電極構(gòu)造 | 平行平板(固定) | ||
高頻輸出 | Max300W | Max500W | |
頻率 | 13.56MHz | ||
控制·顯示 | 液晶觸摸屏 | ||
反應室尺寸 | W400×D250×H150mm | W500×D300×H200mm | |
電極尺寸 | W250×D170mm | W400×D200mm | |
反應室材質(zhì) | 鋁 | ||
反應氣體 | 2系統(tǒng)(Ar、O2) | ||
填充氣體 | N2或干燥空氣 | ||
反應氣體流量控制 | 流量計 | 聚合控制器 | |
真空泵 | 另行選配 | 油泵(約345L/分)標配 | 油泵(約500L/分)標配 |
氣體導入口 | 反應氣體2個、填充氣體1個 | ||
外形尺寸 | W540×D600×H600mm | W540×D600×H600mm | W700×D700×H1285mm |
重量 | 約100kg | 約105kg | 約180kg |
電源 | 單相 AC100V 10A | 三相AC200V 6A | 三相AC200V 8A |