型號(hào) | PDC610 |
等離子模式 | RIE/DP(固定模式) |
電極構(gòu)造 | 3段獨(dú)立平行平板(固定) |
高頻輸出 | Max600W |
頻率 | 13.56MHz |
控制·顯示方式 | PLC·觸摸屏 |
反應(yīng)腔尺寸 | W350×D270×H300mm |
反應(yīng)腔材質(zhì) | A5052 |
反應(yīng)氣體 | 2系統(tǒng)(Ar、O2) |
填充氣體 | N2或干燥空氣 |
真空泵 | 油泵(約345L/分)·標(biāo)配 |
外形尺寸 | W600×D722×H700mm |
外裝材質(zhì) | 不銹鋼 |
電源 | 3 相 AC200 50/60Hz 15A |