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等離子體輔助化學氣相沉積系統(tǒng)PECVD-片式與卷對卷式PECVD

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  • 所在地北京市
  • 更新時間2023-01-06
  • 廠商性質其他
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PECVD,支持定制,單片或卷對卷式PECVD
等離子體輔助化學氣相沉積系統(tǒng)PECVD-片式與卷對卷式PECVD 產品詳情

PECVD, 支持定制,單片或卷對卷式PECVD。

可用于沉積類金剛石、氧化硅、氧化鋁、氧化鈦、氮化物、硫化物等類型薄膜。

可用于聚合物薄膜沉積。

可選13.56兆赫、20kHz等離子體。


片式PECVD參數:

真空度10-3Pa,薄膜厚度:10nm-1um,溫度范圍:400攝氏度,基片大?。?英寸或根據用戶要求。設備尺寸:直徑350mm,高500mm。

價格35~55萬人民幣。


卷對卷式PECVD參數:

1分鐘100m,1.25m幅寬,卷厚度8um50um,可用于食品包裝,起阻水阻氧作用。

參考價格500萬人民幣左右。


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