技術特點
1.獲得X 向“精密三角梁”設計增強了整機的剛性質量比，從而提高了測量的精度和運行的穩(wěn)定性。
2.厚重穩(wěn)固的花崗石工作臺減少了振動帶來的響。
3.燕尾式導軌整體加工在花崗石平臺上，提高了機器的精度和重復性。
4.電機遠程放置減少了移動質量，提高了速度，也避免了電機發(fā)熱對機器性能帶來的影響。
5.獲得氣動平衡設計，提高了機器的測量性能。
6.采用高分辨率金質光柵尺，其熱膨脹系數(shù)獲得PTB認證；
產(chǎn)品參數(shù)
| 型號 | 行程范圍（mm） | 外形尺寸（mm） |
| 06.08.06 | 600×800×680 | 1150×1623×2638 |
| 06.10.06 | 600×1000×600 | 1150×1823×2658 |
| 08.10.06 | 800×1000×600 | 1350×1823×2658 |
| 08.12.06 | 800×1200×600 | 1350×2023×2658 |
| 10.12.08 | 1000×1200×800 | 1550×2177×2936 |
| 10.15.08 | 1000×1500×800 | 1550×2477×2946 |
| 10.21.08 | 1000×2100×800 | 1550×3077×2946 |
| 12.15.10 | 1200X1500X1000 | 1838X2896X3407 |
| 12.22.10 | 1200X2200X1000 | 1838X3596X3407 |
| 12.30.10 | 1200X3000X1000 | 1838X4396X3437 |
| 15.22.10 | 1500X2200X1000 | 2138X3596X3405 |
| 15.30.10 | 1500X3000X1000 | 2138X4396X3430 |
| 15.22.12 | 1500X2200X1200 | 2139X3596X3807 |
| 15.30.12 | 1500X3000X1200 | 2139X4396X3837 |
E0：自2.2 μm起
