水質(zhì)級別 | Ⅰ 級超純水 | Ⅲ 級純水2 |
產(chǎn)水速度 | 2L/min | 8L或16L/h |
電阻率(MΩ·cm,25℃) | 18.2 | >0.22 |
電導(dǎo)率(μS/cm,25℃) | 0.055 | <52 |
反滲透離子去除率 | N/A | 982 |
有機(jī)物、顆粒及微生物去除率 | N/A | >99 |
TOC(ppb) | <1-2(配置UV燈) | 502 |
<5(無UV燈) | 502 | |
內(nèi)毒素(熱源)(EU/ml) | 0.001EU/ml3 | N/A |
顆粒(0.2μm,/ml) | <1 | <1 |
細(xì)菌(cfu/ml) | <0.001 | <0.001 |