DIC顯微鏡的物理原理不同于相差顯微鏡,技術(shù)設(shè)計要復(fù)雜得多。DIC顯微鏡利用的是偏振光,有四個特殊的光學(xué)組件:偏振器(polarizer)、DIC棱鏡、DIC滑行器和檢偏器(analyzer)。MM60型DIC半導(dǎo)體檢查顯微鏡是廣州思貝舒檢測儀器有限公司于2008年采用日本OLYMPUS核心光學(xué)部件與型光學(xué)顯微鏡公司所生產(chǎn)的高檔型半導(dǎo)體檢查顯微鏡主機(jī),主要針對LCD行業(yè)組合而成的專用于TFT導(dǎo)電粒子檢查的半導(dǎo)體顯微鏡;此顯微鏡兼?zhèn)溥M(jìn)口顯微鏡(OLYMPUS,NIKON等品牌)優(yōu)異光學(xué)特點及性能,同時又具有無與論比的成本優(yōu)勢。在光學(xué)效果上,可與進(jìn)口顯微鏡相媲美;目前已被越來越多的小尺寸LCD模塊生產(chǎn)企業(yè)采用,用以替代之前高價位原裝國際品牌光學(xué)顯微鏡產(chǎn)品際品牌光學(xué)顯微鏡產(chǎn)品。
DIC顯微鏡的設(shè)計參數(shù)
型號 | MM60 | |
光學(xué)系統(tǒng) | 無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng) | |
顯微鏡鏡體 | 照明裝置 | 反射/透射光轉(zhuǎn)換 |
內(nèi)裝3.3W 白光長壽命LED光源,光亮可連續(xù)調(diào)節(jié) | ||
調(diào)焦 | 行程為:35mm | |
同軸粗微調(diào),微調(diào)最小刻度1微米, | ||
含三級調(diào)焦機(jī)構(gòu):微調(diào),粗調(diào)及張力調(diào)節(jié)環(huán).; | ||
觀察筒 | 寬視野(視野數(shù)為22) | 正置式 三目鏡筒 傾角30° 帶C型數(shù)碼接口 |
進(jìn)口觀察筒.普通視野(視野數(shù)為20) | 日本OLYMPUS原裝三目觀察鏡筒 傾角30° 帶C型數(shù)碼接口 | |
物鏡轉(zhuǎn)盤 | 明視場用 | 內(nèi)置5孔明視場物鏡轉(zhuǎn)盤 |
載物臺 | 帶左(右)手同軸驅(qū)動旋轉(zhuǎn)的載物臺:100(x)X105(y)mm | |
物鏡 | LWDPLAN 5X | 長工作距離平場物鏡:數(shù)值孔徑(N.A) 0.14, 工作距離:20.5mm |
LWDPLAN 10X | 長工作距離平場物鏡數(shù):值孔徑(N.A) 0.25, 工作距離:16mm | |
LWDPLAN 20X | 長工作距離平場物鏡數(shù):值孔徑(N.A) 0.40, 工作距離:7.8mm | |
LWDPLAN 50X | 長工作距離平場物鏡數(shù):值孔徑(N.A) 0.55, 工作距離:7.9mm | |
LWDPLAN 100X | 長工作距離平場物鏡:數(shù)值孔徑(N.A) 0.80, 工作距離:3mm | |
可選物鏡 | MPLN 5X | 日本OLYMPUS平場消色差物鏡: 數(shù)值孔徑(N.A) 0.10, 工作距離:20mm |
MPLN 10X | 日本OLYMPUS平場消色差物鏡: 數(shù)值孔徑(N.A) 0.25, 工作距離:10.6mm | |
MPLN 20X | 日本OLYMPUS平場消色差物鏡: 數(shù)值孔徑(N.A) 0.4, 工作距離:1.3mm | |
MPLN 50X | 日本OLYMPUS平場消色差物鏡: 數(shù)值孔徑(N.A) 0.75, 工作距離:0.38mm | |
MPLN 100X | 日本OLYMPUS平場消色差物鏡: 數(shù)值孔徑(N.A) 0.9, 工作距離:0.21mm | |
目鏡 | WF10X/22 | 目鏡: 10X,視場直徑(F.N) 22mm,瞳距和屈光度可調(diào), |
WHB 10X/20 | 日本OLYMPUS平場目鏡:10X,視場直徑(F.N) 20mm | |
微分干涉系統(tǒng) | Polarizer | 起偏器 |
Analyzer | 可360旋轉(zhuǎn)檢偏器 | |
U-DICR | 日本OLYMPUS原裝微分干涉模塊 | |
光闌 | 帶視場光闌(FS)和孔徑光闌(AS);可調(diào)中心 | |
觀察方法 | 各個倍數(shù)下均可以進(jìn)行明場,簡易偏光觀察,微分干涉觀察,各倍率成象清晰度好. 可作透射與反射照明觀察 |