特點：
? 一次測量，實現(xiàn)粗糙度、波紋度、輪廓分析。
? 實現(xiàn)全范圍內的粗糙度、波紋度測量。
? X向采用新型數字式傳感器，精度更高，Z1采用自主研發(fā)高精度多段式電感傳感器。
? 多段式高精度傳感器具有超大量程，較大限度保持了傳感器的原有精度。
? 采用高剛性高精度免維護直線運動導軌，精密控制系統(tǒng)。
? 采用高速并行數據采集單元，硬件觸發(fā)、硬件高速采樣，無延時。
? 足夠密集及穩(wěn)定的數據源為后期數據處理、計算提供有力的保障。
產品參數：
規(guī)格號 | 參數 | |
測量范圍 | X軸 | 0-200mm可選 |
Z軸 | 0-620mm可選 | |
Z1軸 | 6mm,2mm | |
線性精度 | 輪廓 | ≤±0.07%f.s.(95mm測桿) |
粗糙度 | ≤±(12nm+3%) | |
輪廓測量：各種類型工件表面的線要素，點要素、點與點的距離、線與線的距離、各要素的位置度包括距離、平行度、垂直度、角度、槽深、槽寬、半徑，可進行直線度分析、凸度分析。
輪廓分析：Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr
粗糙度測量：Ra、Rp、Rv、Rz、Rz（jis）、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr
波紋度參數：Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr
