圖1
型號 | HSR-C3200 | HSR-C3200D | HSR-C3200G | ||
圖像傳感器 | 500 萬像素 CMOS | 2000 萬像素 CMOS | |||
顯示器 | 機身顯示器 | 10.4 英寸LCD 顯示器（XGA：1024×768） | |||
外接顯示器 | 24 英寸 LCD 顯示器（XGA：1920×1080） | ||||
受光鏡頭 | 雙遠心鏡頭 | ||||
照明系統(tǒng) | 落射系統(tǒng) | 四分割照明（白光）、環(huán)狀指向性照明（綠色） | |||
透射系統(tǒng) | 遠心透過照明（綠色） | ||||
測量視野 | 廣視野(㎜) | 200×200（4 角 R50） | 200×200（4 角 R50） | 200×200（4 角 R50） | |
高精度(㎜) | / | 130×130 | 130×130 | ||
圖像測量 重復精度 | 廣視野 | 載物臺未移動 | ±1μm | ±1μm | ±1μm |
載物臺移動 | ±2μm | ±2μm | ±2μm | ||
高精度 | 載物臺未移動 | / | ±0.5μm | ±0.5μm | |
載物臺移動 | / | ±1.5μm | ±1.5μm | ||
圖像測量 測量精度 | 無拼接*1 | 廣視野 | ±5μm | ±5μm | ±5μm |
高精度 | / | ±2μm | ±2μm | ||
有拼接*2 | 廣視野 | ±(7+0.02L)μm | ±(7+0.02L)μm | ±(7+0.02L)μm | |
高精度 | / | ±(4+0.02L)μm | ±(4+0.02L)μm | ||
測量軟件 | VisionX | ||||
顯示分辨率 | 0.1μm | ||||
XY 電動載物臺 | X 移動范圍 | 110 mm | |||
Y 移動范圍 | 110 mm | ||||
承重 | 5kg | ||||
Z 向電動載物臺 | 移動范圍 | 75 mm | |||
外形尺寸(L×W×H) ㎜ | 531×386×731 （mm） | 531×386×731 （mm） | 531×386×731 （mm） | ||
重量 | 48kg | 49kg | 49kg | ||
工作電源 | 100-240V/AC,50/60Hz,2A 功率 300W | ||||
工作環(huán)境 | 溫度 10℃~35℃，濕度 20~80%（無凝結） | ||||
*1在調焦位置，使用環(huán)境溫度為 20°C±1°C 時。
*2在調焦位置，使用環(huán)境溫度為 20°C±1°C 時、載物臺上搭載重量為 2kg 以下、L 為載物臺移動量（mm)。
圖2
型 號 | HSR-C3030 | HSR-C3030D | ||
圖像傳感器 | 500 萬像素 CMOS | |||
顯示器 | 機身顯示器 | 10.4 英寸 LCD 顯示器（XGA：1024×768） | ||
外接顯示器 | 24 英寸 LCD 顯示器（XGA：1920×1080） | |||
受光鏡頭 | 雙遠心鏡頭 | |||
照明系統(tǒng) | 落射系統(tǒng) | 四分割照明（白光）、環(huán)狀指向性照明（綠色） | ||
透射系統(tǒng) | 遠心透過照明（綠色） | |||
測量視野 | 廣視野(㎜) | 20×L130 | 20×L130 | |
高精度(㎜) | / | 6×L116 | ||
圖像測量 重復精度 | 廣視野 | 載物臺未移動 | ±0.5μm | ±0.5μm |
載物臺移動 | ±1μm | ±1μm | ||
高精度 | 載物臺未移動 | / | ±0.1μm | |
載物臺移動 | / | ±0.5μm | ||
圖像測量 測量精度 | 無拼接*1 | 廣視野 | ±2μm | ±2μm |
高精度 | / | ±0.7μm | ||
有拼接*2 | 廣視野 | ±(4+0.02L)μm | ±(4+0.02L)μm | |
高精度 | / | ±(2+0.02L)μm | ||
測量軟件 | VisionX | |||
顯示分辨率 | 0.1μm | |||
XY 電動載物臺 | X 移動范圍 | 110 ㎜ | ||
Y 移動范圍 | ------ | |||
承重 | 2kg | |||
Z向電動載物臺 | 移動范圍 | 35 ㎜ | ||
標尺精度 | ------ | |||
外形尺寸(L×W×H) ㎜ | 500×280×670 ㎜ | |||
重量 | 30kg | |||
工作電源 | 100-240VAC,50/60Hz,2A 功率 300W | |||
工作環(huán)境 | 溫度 10℃~35℃，濕度 20~80%（無凝結） | |||
*1在調焦位置，使用環(huán)境溫度為+20℃±1.0℃時。
*2在調焦位置，使用環(huán)境溫度為+20℃±1.0℃時、載物臺上搭載重量為 1kg 以下、L 為載物臺移動量（㎜）。
圖3
型 號 | HSR-C3100 | HSR-C3100D | ||
圖像傳感器 | 500 萬像素 CMOS | |||
顯示器 | 機身顯示器 | 10.4 英寸 LCD 顯示器（XGA：1024×768） | ||
外接顯示器 | 24 英寸 LCD 顯示器（XGA：1920×1080） | |||
受光鏡頭 | 雙遠心鏡頭 | |||
照明系統(tǒng) | 落射系統(tǒng) | 四分割照明（白光）、環(huán)狀指向性照明（綠色） | ||
透射系統(tǒng) | 遠心透過照明（綠色） | |||
測量視野 | 廣視野(㎜) | Φ100×L200 | Φ100×L200 | |
高精度(㎜) | / | 20*L130 | ||
圖像測量 重復精度 | 廣視野 | 載物臺未移動 | ±1μm | ±1μm |
載物臺移動 | ±2μm | ±2μm | ||
高精度 | 載物臺未移動 | / | ±0.5μm | |
載物臺移動 | / | ±1.5μm | ||
圖像測量 測量精度 | 無拼接*1 | 廣視野 | ±5μm | ±5μm |
高精度 | / | ±2μm | ||
有拼接*2 | 廣視野 | ±(7+0.02L)μm | ±(7+0.02L)μm | |
高精度 | / | ±(4+0.02L)μm | ||
測量軟件 | VisionX | |||
顯示分辨率 | 0.1μm | |||
XY電動載物臺 | X 移動范圍 | 110 ㎜ | ||
Y 移動范圍 | —— | |||
承重 | 2kg | |||
Z向電動載物臺 | 移動范圍 | 35 ㎜ | ||
標尺精度 | —— | |||
外形尺寸(L×W×H) ㎜ | 500×280×670 ㎜ | |||
重量 | 31kg | |||
工作電源 | 100-240V/AC,50/60Hz,2A 功率 300W | |||
工作環(huán)境 | 溫度 10℃~35℃，濕度 20~80%（無凝結） | |||
*1在調焦位置，使用環(huán)境溫度為+20℃±1.0℃時。
*2在調焦位置，使用環(huán)境溫度為+20℃±1.0℃時、載物臺上搭載重量為 1kg 以下、L 為載物臺移動量（㎜）。
圖4
型 號 | HSR-C3300 | HSR-C3300D | |||||
圖像傳感器 | 500 萬像素 CMOS | ||||||
顯示器 | 機身顯示器 | 10.4 英寸 LCD 顯示器（XGA：1024×768） | |||||
外接顯示器 | 24 英寸 LCD 顯示器（XGA：1920×1080） | ||||||
受光鏡頭 | 雙遠心鏡頭 | ||||||
照明系統(tǒng) | 落射系統(tǒng) | 四分割照明（白光）、環(huán)狀指向性照明（綠色） | |||||
透射系統(tǒng) | 遠心透過照明（綠色） | ||||||
測量視野 | 廣視野(㎜) | 300×200（4 角 R50） | 300×200（4 角 R50） | ||||
高精度(㎜) | / | 230*130 | |||||
圖像測量 重復精度 | 廣視野 | 載物臺未移動 | ±1μm | ±1μm | |||
載物臺移動 | ±2μm | ±2μm | |||||
高精度 | 載物臺未移動 | / | ±0.5μm | ||||
載物臺移動 | / | ±1.5μm | |||||
圖像測量 測量精度 | 無拼接*1 | 廣視野 | ±5μm | ±5μm | |||
高精度 | / | ±2μm | |||||
有拼接*2 | 廣視野 | ±(7+0.02L)μm | ±(7+0.02L)μm | ||||
高精度 | / | ±(4+0.02L)μm | |||||
測量軟件 | VisionX | ||||||
顯示分辨率 | 0.1μm | ||||||
高度測量*3 | 可測量范圍（XY) | 120 ㎜×110 ㎜ | |||||
孔深比（h/φ） | 1.5 | ||||||
Z軸不移動 | 高度 | ±3.7 ㎜ | |||||
精度 | ±2μm | ||||||
Z軸移動 | 高度 | 70 ㎜ | |||||
精度 | ±(6+L/100)μm | ||||||
測頭光點直徑 | Φ38μm | ||||||
分辨率 | 0.25μm | ||||||
支持觸發(fā)測頭 | 支持 | ||||||
XY 電動載物臺 | X 移動范圍 | 210 ㎜ | |||||
Y 移動范圍 | 110 ㎜ | ||||||
承重 | 5kg | ||||||
Z 向電動載物臺 | 移動范圍 | 75 ㎜ | |||||
外形尺寸(L×W×H) ㎜ | 500×503×731 ㎜ | 500×503×731 ㎜ | |||||
重量 | 74kg | 75kg | |||||
工作電源 | 100-240V/AC,50/60Hz,2A 功率 300W | ||||||
工作環(huán)境 | 溫度 10℃~35℃，濕度 20~80%（無凝結） | ||||||
*1在調焦位置，使用環(huán)境溫度為 20°C±1°C 時。
*2在調焦位置，使用環(huán)境溫度為 20°C±1°C 時、載物臺上搭載重量為 2kg 以下、L 為載物臺移動量（㎜）。
*3需選配光學高度測量傳感測頭。
