油擴(kuò)散泵ULK系列 日本 ULVAC
ULVAC公司的擴(kuò)散泵ULK系列不僅性能*,而且運(yùn)行成本極低。
【特征】
專為嚴(yán)重的背壓而設(shè)計(jì)。
在壓力降到10-2 Pa (10-4 torr)時(shí),性能非常穩(wěn)定。
使用軟管法蘭(ULK-04A和06A上的排氣法蘭除外)。
泵可以很容易清洗(零件容易拆卸)。
配備機(jī)械裝置,使操作液停止流向輔助泵。
【規(guī)格】
油擴(kuò)散泵ULK系列 日本 ULVAC
ULVAC公司的擴(kuò)散泵ULK系列不僅性能*,而且運(yùn)行成本極低。
【特征】
專為嚴(yán)重的背壓而設(shè)計(jì)。
在壓力降到10-2 Pa (10-4 torr)時(shí),性能非常穩(wěn)定。
使用軟管法蘭(ULK-04A和06A上的排氣法蘭除外)。
泵可以很容易清洗(零件容易拆卸)。
配備機(jī)械裝置,使操作液停止流向輔助泵。
【規(guī)格】