■等級(jí)精度，容許長(zhǎng)度測(cè)量誤差：

E0, MPE：1.8 + 3L/1000 µm*1 *1 溫度條件：18～22℃

XYZAX AXCEL 采用全新開發(fā)高剛性Y軸導(dǎo)軌，通過上下左右4個(gè)方向氣浮支持結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)等級(jí)精度。

■精度保證溫度范圍大 15~30℃

采用全新設(shè)計(jì)外罩，避免X軸導(dǎo)軌、Y軸支撐部直接受到溫度變化的影響。

此外，引入抑制輝長(zhǎng)石定盤變形的結(jié)構(gòu)，是溫度變化造成的影響最小化。

■全新開發(fā)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)超高速度

驅(qū)動(dòng)速度 700mm/sec ； 加速度 2300mm/sec²

采用新開發(fā)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)各軸高速且安定的驅(qū)動(dòng)。從過去的皮帶驅(qū)動(dòng)變?yōu)樾麻_發(fā)的驅(qū)動(dòng)方式，大幅提升了運(yùn)動(dòng)性能。

■也可對(duì)應(yīng)非接觸測(cè)量，根據(jù)需求可安裝各種各樣的測(cè)頭

RDS-C5是XYZAX AXCEL RDS標(biāo)配的自動(dòng)旋轉(zhuǎn)測(cè)座。水平方向·垂直方向均可以5°間隔進(jìn)行±180°回轉(zhuǎn)，能提供5184個(gè)測(cè)

量角度方位。實(shí)現(xiàn)了極精細(xì)的測(cè)量角度，可測(cè)量復(fù)雜形狀的工件。