CMS9500/0002/0005/0020/0050/0200/0500
氣體質(zhì)量流量計(jì)
CMS9500/0002/0005/0020/0050/0200/0500高可靠性氣體質(zhì)量
流量計(jì),使用了山武公司新近開發(fā)的微流量傳感器,這種傳感器
是感熱式流量傳感單元。
超小型結(jié)構(gòu)、高精度傳感器、高密度集成電路設(shè)計(jì)技術(shù)的結(jié)合使
這種儀表具有精度高、測(cè)量范圍大,且成本低的優(yōu)點(diǎn)。