被廣泛應用于半導體以及集成電路的制造和封裝測試行業(yè)，是一種理想的無損檢測儀器，能夠有效地檢測器件或材料內部的開裂、氣泡、雜質、斷層等缺陷。
其主要工作原理是，通過壓電陶瓷將電信號轉換成超聲波（>20KHz），用超聲波對樣品內部進行高精度地掃描，根據超聲波在不同密度材料中的傳播速度和反射系數的差異，獲得樣品內部不同區(qū)域的超聲波透射或反射，再經由軟件算法處理和成像。SAM的核心構成為，電氣部件、機械裝置、聲學部件、軟件系統(tǒng)。
產品特點
SONIX Echo-LS 能檢測到小至 0.05um 的缺陷，而且對于 bump、疊 die(3D 封裝)、倒裝芯片及各種傳統(tǒng)的塑料封裝等具有的檢測性能。提高生產效率和產量，使用 ECHO 的設備和軟件容易的設置和使用
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- 工藝過程監(jiān)測
- 合格/失效分選
- 專業(yè)認證
SONIX 掃描探頭頻率范圍從 10MHz 到 300MHz,適合各種類型的應用和材料。
其它關鍵特點：
- 減少實驗室空間（占地面積小）
- 鍵盤快捷鍵（方便移動操作）
- 全焊接機身框架（促進平臺穩(wěn)定性）
- 降低水槽高度（人體工程學設計）
- 可同時進行反射掃描和透射掃描
- 360 度可視
- 超大掃描面積
- 水槽底部傾斜（易于排干水）
- 探頭隨 Z 軸移動（取代托盤上下移動）
- 可滑動支架
- 符合歐洲機械指令
- 緊湊、穩(wěn)定的結構設計（低維護）
- 符合 CE,SEMI S2,NRTL
- 可滑動的電氣面板（方便維護）
- 防靜電涂層（安全罩、水槽、門等）
| 技術參數： | |||
| 機臺尺寸 | 79cm*9cm*22cm | 步進軸（Y） | 定位裝置：低電磁干擾導軌式步進馬達 |
| 掃描軸（X） | 定位裝置： 線性伺服馬達 | 分辨率：0.25um | |
| 速度：1000mm/sec | 掃描區(qū)域：350mm | ||
| 重復精度：+/-0.5um | 聚焦軸（Z） | 定位裝置：低電磁干擾導軌式步進馬達 | |
| 編碼器分辨率：0.5um | 分辨率：0.25um | ||
| 掃描區(qū)域：350mm | 行程：50mm | ||
| 夾具 | JEDEC標準尺寸托盤夾具 | 脈沖發(fā)生器 | DPR500 接收器配置L2/H4脈沖發(fā)生器 |
| 掃描平臺可固定*的托盤夾具 | 可選U4超高頻脈沖發(fā)生器 | ||
| 透射桿探頭固定 | 流體系統(tǒng) | 循環(huán)泵和5um過濾器 | |
| 注：ECHO LS是目前國內使用泛的一款型號 | |||
其它特色軟件功能選項
- TAMI SCAN: 一次掃描得到最多 200 張斷層圖像
- ICEBERG: 強大的離線分析技術
- WinIC Pro: 增加功能和分析
- WinIC Offiline：遠程分析
- Waveform Simulator/Beam Emulator ：波形仿真器
ECHO 機臺面板與 WinIC 軟件的組合，給用戶提供一個強大、簡易使用的分析工具。WinIC 軟件是 Sonix 公司研發(fā)的超聲波掃描顯示鏡成像軟件，提供*的圖像分析功能以幫助定量和定性分析圖像數據。WinIC 使用大量的圖形和屏幕指導幫助所有用戶，從入門到精通。
| SONIX 軟件優(yōu)勢
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