GFS™ 提供了一種真正的主質(zhì)量流量標(biāo)準(zhǔn),并使得低氣體質(zhì)量流速的基本測(cè)量真正可行。
- 覆蓋從 0.2 到 200 mg/s 的多種氣體量程(10 sccm 到 10 slm N2)
- 支持的氣體:無(wú)毒性的非腐蝕氣體
- 流量測(cè)量不確定度低至 ±0.013% 讀數(shù)
- 出口壓力:650 kPa 絕壓
- 使用質(zhì)量和時(shí)間測(cè)量的主要重量原則
- 可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化的無(wú)人管理操作
GFS 動(dòng)態(tài)重力質(zhì)量流量校準(zhǔn)系統(tǒng)包括所需的電子質(zhì)量天平、封殼和電子儀器,以準(zhǔn)確實(shí)時(shí)測(cè)量損耗的
氣體質(zhì)量和整個(gè)過(guò)程的持續(xù)時(shí)間。為了提高熱穩(wěn)定性并抑制振動(dòng),請(qǐng)將天平放在一個(gè)大的花崗巖表面并使用通風(fēng)的封殼將其包圍。在該系統(tǒng)中,通過(guò)增壓套筒提供測(cè)試氣體,增壓套筒置于天平上,系統(tǒng)會(huì)不斷地測(cè)量其質(zhì)量,以確定測(cè)試過(guò)程中損耗氣體的質(zhì)量和速度。通過(guò)連接到系統(tǒng)控制器的高速 USB 計(jì)數(shù)器/定時(shí)器來(lái)測(cè)量執(zhí)行此測(cè)試所用的時(shí)間。該系統(tǒng)可以使用各種非腐蝕性氣體種類,只需抽離參考套筒中的氣體并對(duì)所選介質(zhì)進(jìn)行加壓。
已經(jīng)開(kāi)發(fā)了專用的基于 PC 的軟件程序 (GFSTools™),用作儀器的控制以及用戶界面。系統(tǒng)會(huì)記錄測(cè)試輸出下天平和設(shè)備的離散值和平均值,然后計(jì)算結(jié)果并將其顯示為總質(zhì)量和質(zhì)量流量等項(xiàng)。對(duì)環(huán)境壓力、溫度和濕度以及平衡偏移的補(bǔ)充測(cè)量均由 GFSTools 執(zhí)行。自動(dòng)測(cè)試設(shè)置、數(shù)據(jù)報(bào)告和流量控制也由該程序進(jìn)行處理。
GFS 通用技術(shù)規(guī)范 | ||
供電要求 | ||
天平 | 100 至 240 V 交流,50 至 60 Hz,功率 27 W。功耗 | |
LCM | 100 至 240 V 交流,50 至 60 Hz,功率 40 W。功耗 | |
MFC-CB | 85 V 至 264 V 交流,50 至 60 Hz,功率 36 W。功耗 | |
工作溫度范圍 | 15 到 25°C | |
濕度范圍 | 5 到 70% RH(非凝結(jié)) | |
重量 | ||
花崗石表面(含支架) | 大約 320 kg (700 lb) | |
系統(tǒng)其余部分 | 大約 70 kg (150 lb) | |
尺寸 | ||
花崗石表面(含支架)外圍 | 150 cm 高 x 90 cm 寬 x 60 cm 深 (58 in. x 36 in. x 24 in.) | |
LCM | 8 cm 高 x 22.5 cm 寬 x 20 cm 深 (3.1 in. x 8.9 in. x 7.9 in.) | |
MFC-CB | 8 cm 高 x 22.5 cm 寬 x 20 cm 深 (3.1 in. x 8.9 in. x 7.9 in.) | |
GFS-FS | 20 cm 高 x 41.4 cm 寬 x 20 cm 深 (7.9 in. x 16.3 in. x 7.9 in.) | |
支持的氣體 | 氮?dú)?(N2)、空氣、氬氣 (Ar)、一氧化碳 (CO)、氦氣 (He)、氧氣 (O2)、二氧化碳 (CO2)、四氟化碳 (CF4)、乙烷 (C2H6)、乙烯 (C2H4)、三氟甲 (CHF3)、六氟乙烷 (C2F6)、氫氣 (H2)、甲烷 (CH4)、一氧化二氮 (N2O)、六氟化硫 (SF6)、氙氣 (Xe) | |
流量測(cè)量范圍 | 至少: | |
He、H2 | 100 sccm 到 10 slm | |
所有其他氣體 | 10 sccm 到 10 slm | |
壓力連接件 封殼的出口流量路徑 | 1/8” Swagelok 管裝置或等效裝置,使用 1/4” Swagelok 管裝置或等效裝置的適配器 | |
參考?xì)怏w套筒壓力極限 | 20 MPa (3000 psi) | |
CE 認(rèn)證證書 | 提供,必須 |