APC200壓力流量控制器
APC200-00-0-I-N
APC200壓流控制器基本上是為電容壓力計(jì)提供一個(gè)電源(±15VDC)，與之相應(yīng)的壓力信號(hào)連接顯示器，同時(shí)使用PID排氣節(jié)流閥節(jié)流閥或Self-Tuning功能將壓力控制連接起來的系統(tǒng)，其中,使用“Self-Tuning”功能,可根據(jù)流入室中氣體的量、泵抽速度、閥位中的真空壓力變化,以及其他重要的參數(shù)感知壓力控制系數(shù)。使用此功能作壓力控制
APC200壓力&流量控制器APC200-00-0-I-N
APC200壓流控制器基本上是為電容壓力計(jì)提供一個(gè)電源(±15VDC)，與之相應(yīng)的壓力信號(hào)連接顯示器，同時(shí)使用PID排氣節(jié)流閥節(jié)流閥或Self-Tuning功能將壓力控制連接起來的系統(tǒng)，其中,使用“Self-Tuning”功能,可根據(jù)流入室中氣體的量、泵抽速度、閥位中的真空壓力變化,以及其他重要的參數(shù)感知壓力控制系數(shù)。使用此功能作壓力控制時(shí),可以更快地達(dá)到所需的壓力。內(nèi)置2個(gè)過程限制繼電器,可幫助用戶集成在裝備中。
特點(diǎn)
至多可以連接4個(gè)MFC的PCB卡，每張PCB由2通道(2個(gè)MFC)組成。
標(biāo)準(zhǔn)的面板安裝,通訊方式I/O或RS-232遠(yuǎn)程(RS-485選項(xiàng))，實(shí)現(xiàn)所有遠(yuǎn)程控制都是可能的。
規(guī)格 | |
閥門操作 | ATV1000排氣節(jié)流閥，MKS型653和253排氣節(jié)流閥及其他 |
壓力輸入信號(hào) | 標(biāo)準(zhǔn)0-10Vdc |
輸入功率要求 | 90-132或180-264 VAC, 50/60 Hz |
設(shè)置點(diǎn) 可編程的 外部模擬 | 總共5個(gè)，可在任何組合中編程，用于壓力或閥位置 （可從前面板調(diào)節(jié)或從前面板旋轉(zhuǎn)RS232設(shè)定、TTL或RS232） 0-10VDC |
控制器重復(fù)性 | ±0.1% F.S |
環(huán)境運(yùn)行溫度 | 15℃ - 45℃ |
輸出功率 | ±15 VDC ±5% @ 1.5 Amp |
模擬量輸出信號(hào) | 0 - 10vdc用于0-100 %閥門位置,0 - 10vdc用于1-100 %滿量程壓力 |
尺寸 | 1/2機(jī)架安裝:88mm 寬 x 241mm 長 x 225 高 |
顯示 | LCD(壓力、位置和外部設(shè)定點(diǎn)讀數(shù)) |
顯示單位 | Torr, mTorr, mbar, Pascal, cmH20, inH20, mbar, kpa 標(biāo)準(zhǔn) |
PID控制 | 標(biāo)準(zhǔn) |
遠(yuǎn)程零點(diǎn) | 標(biāo)準(zhǔn) |
接口 | 前面板設(shè)置，模擬，TTL和RS232，（RS-485選項(xiàng)） |
繼電器輸出 | 2個(gè)過程繼電器: 24 Volts AC/DC 0.5Amp 電阻 |
遠(yuǎn)程控制 （打開、關(guān)閉、保持） | 標(biāo)準(zhǔn) |
位置控制能力 | 標(biāo)準(zhǔn) |
