FR1000 在半導(dǎo)體和其他清潔的天然氣輸送超高純度的調(diào)節(jié)過(guò)程. 低到中等流量,這個(gè)系列的閥門(mén)在閥歧管箱,煤氣柜,和其他半導(dǎo)體制造等行業(yè)非常廣泛的應(yīng)用
Veriflo部門(mén)的FR1000系列調(diào)節(jié)閥是非束縛隔膜的減壓閥, 提供低至中等流量的能力與入口壓力為3500 psig.FR1000提供工藝氣體導(dǎo)致在一個(gè)穩(wěn)定的流量和下游系統(tǒng)使其成為閥箱、氣瓶柜優(yōu)良的選擇壓力提供正確的控制,和許多半導(dǎo)體制造中的應(yīng)用.
標(biāo)準(zhǔn)的哈氏合金C-22®隔膜和綜合過(guò)濾促進(jìn)壽命長(zhǎng)性能的同時(shí),金屬對(duì)金屬密封膜片以獲得高度密封性。
FR1000提供相同的質(zhì)量、穩(wěn)定性和性能水平的派克產(chǎn)品的預(yù)期,在一個(gè)高度競(jìng)爭(zhēng)的價(jià)格點(diǎn).新生產(chǎn)線(xiàn)補(bǔ)充了我們現(xiàn)有的,保費(fèi)qr4000和hf1200系列穩(wěn)壓器,和組合,將廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體制造中的應(yīng)用。
市場(chǎng):
? 半導(dǎo)體制造
? 天然氣公司
特點(diǎn)/好處:
? 金屬-金屬膜片密封實(shí)現(xiàn)泄漏完整性
? 制造超高純度氣體輸送應(yīng)用
? 10英寸RA表面光潔度
? 鈍化和電解拋光
? 綜合過(guò)濾
? 標(biāo)準(zhǔn)hastelloy® 膜片
應(yīng)用:
? 工具掛鉤
? 閥門(mén)歧管箱
? 處理氣體柜
? “使用點(diǎn)”壓力調(diào)節(jié)
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