產(chǎn)品簡(jiǎn)介
QT-600型氦離子化SF6分解產(chǎn)物檢測(cè)儀,是我公司專為開關(guān)室SF6氣體組分分析而設(shè)計(jì)的,用以檢測(cè)SF6氣體各組分的含量以及SF6純度。
該設(shè)備采用氦離子檢測(cè)器,適用于高純化氣體和電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)。儀器配備Valco公司生產(chǎn)的高靈敏度氦離子化(PDHID)檢測(cè)器;采用中心切割與反吹技術(shù);進(jìn)樣閥采用的帶吹掃保護(hù)氣路的Valco六通或十通閥,以QT-600型氦離子化SF6分解產(chǎn)物檢測(cè)儀為載體,連同Valco公司的HP2-220氦氣純化器、專用氣體取樣閥等部件形成一套完整的高純氣體分析設(shè)備。
產(chǎn)品特點(diǎn)
采用氦離子化檢測(cè)器(PDHID),靈敏度高,可靠性好;
采用Valco公司HP2-220氦氣純化器;
專用分析色譜柱,針對(duì)性強(qiáng),效果穩(wěn)定可靠;
中心切割與反吹技術(shù)系統(tǒng);
多柱箱溫控分析系統(tǒng);
一鍵采樣控制,操作簡(jiǎn)單方便;
氦氣(載氣)專用不銹鋼雙級(jí)減壓閥;
專用工作站軟件系統(tǒng),智能化程度高,易學(xué)易用。
檢測(cè)范圍
氦離子化檢測(cè)器(PDHID)
氣體工業(yè)是國(guó)民經(jīng)濟(jì)的基礎(chǔ)行業(yè),高純氣體和電子工業(yè)氣體被譽(yù)為工業(yè)生產(chǎn)的“血液”。隨著國(guó)民經(jīng)濟(jì)的快速發(fā)展,特別是國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體技術(shù)的快速發(fā)展,市場(chǎng)對(duì)高純氣體和電子工業(yè)用氣體的需求量也快速增長(zhǎng)。
對(duì)微量雜質(zhì)進(jìn)行準(zhǔn)確的分析是生產(chǎn)上述氣體的關(guān)鍵環(huán)節(jié),而微量雜質(zhì)的分析一直是色譜分析的難點(diǎn),傳統(tǒng)的熱導(dǎo)檢測(cè)器由于靈敏度有限,很難檢測(cè)到5ppm以下的雜質(zhì)。而氧化鋯、火焰光度、電子捕獲等檢測(cè)器均為選擇性檢測(cè)器,僅對(duì)少數(shù)幾種雜質(zhì)有響應(yīng);氬離子檢測(cè)器也只能檢測(cè)氬氣中雜質(zhì)組份;以上檢測(cè)器都不是高純氣體的。
脈沖放電氦離子化檢測(cè)器(PDHID)是一種靈敏度的通用型檢測(cè)器,對(duì)幾乎所有無(wú)機(jī)和有機(jī)化合物均有很高的響應(yīng),特別適合高純氣體的微量雜質(zhì)分析,是能夠檢測(cè)至ng/g(ppb)級(jí)的檢測(cè)器。大多數(shù)新制定的氣體產(chǎn)品的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)中都規(guī)定采用氦離子化檢測(cè)器代替原有的熱導(dǎo)檢測(cè)器,從而提高氣體的微量雜質(zhì)分析能力。
技術(shù)參數(shù)