變形鏡
| 波長(zhǎng)范圍 | 122nm-10.6um |
| 有效直徑 | 10-600mm |
| 電極/激勵(lì)器數(shù) | 600 |
| 行程 | 40um |
| 頻率 | 1kHz |
| 損傷閾值 | 50kW/cm2 或 20J/cm2 |
| 澤尼克系數(shù) | 24 |
波前傳感器
| 波長(zhǎng)范圍 | 122nm-10.6um |
| 有效直徑 | 4-600mm |
| 微透鏡直徑 | 低至150um |
| 靈敏度 | Lambda/150 rms |
| 動(dòng)態(tài)范圍 | 50 Lambda |
| 頻率 | 2kHz |
| 軟件 | 實(shí)時(shí)顯示哈特曼和波前分析、澤尼克多項(xiàng)式、2D/3D條紋圖、相位圖、光強(qiáng)圖、M2、PSF、波前P-V和RMS |
哈特曼計(jì)
哈特曼計(jì)用于測(cè)量光學(xué)表面平整度，可取代菲佐干涉儀，具有同樣的性能。通過(guò)一束激光照射到測(cè)量表面，然后用夏克-哈特曼波前傳感器測(cè)量反射回的波前。
主要特點(diǎn)是實(shí)時(shí)測(cè)量，對(duì)振動(dòng)不敏感。
| 波長(zhǎng)范圍 | 122nm-10.6um |
| 可測(cè)口徑 | 沒(méi)有限制（擴(kuò)束鏡） |
| 可測(cè)曲率半徑 | 沒(méi)有限制（補(bǔ)償光器件） |
| 準(zhǔn)確度 | Lambda/30 rms |
| 橫向分辨率 | 孔徑的2/100 |
| 軟件 | 實(shí)時(shí)顯示哈特曼和波前分析、澤尼克多項(xiàng)式、2D/3D條紋圖、相位圖、光強(qiáng)圖、M2、PSF、波前P-V和RMS |
自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)
自適應(yīng)光學(xué)閉循環(huán)系統(tǒng)由變形鏡、波前傳感器及軟件組成，可用于高功率激光、同步輻射光束、天文望遠(yuǎn)鏡、生物顯微鏡等。
軟件實(shí)時(shí)顯示哈特曼和波前分析、澤尼克多項(xiàng)式、2D/3D條紋圖、相位圖、光強(qiáng)圖、M2、PSF、波前P-V和RMS；實(shí)時(shí)參數(shù)監(jiān)控；實(shí)時(shí)顯示鏡片上電壓；測(cè)量鏡片電極反應(yīng)函數(shù)等
