貨號(hào) | 型號(hào) | X1軸測(cè)量范圍mm | 備注 | Z2軸垂直行程mm | Y軸工作臺(tái)裝置 | α軸裝置 |
12AAD552 | 圓錐測(cè)針 (標(biāo)準(zhǔn)附件) | |||||
12AAD554 | 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)針 (標(biāo)準(zhǔn)附件) | |||||
12AAD556 | 小孔測(cè)針 | |||||
12AAD558 | 離心型針尖 | |||||
12AAD560 | 深槽針尖 | |||||
12AAD562 | 2 倍長(zhǎng)針尖*1 | |||||
525-401* | CS-3200S4 | 100mm | 300mm | 可選 | 已安裝 | |
FORMTRACEPAK-6000 | FORMTRACEPAK-6000 | 軟件選件 |
基本技術(shù)參數(shù):
基座尺寸 (W x D): 600 x 450mm
基座材料: 花崗巖
尺寸 (W x D x H): 756 x 482 x 966mm (主機(jī))
重量: 140kg (主機(jī))
電源: 100 – 240V AC ±10%, 50/60Hz
能耗: 400W (主機(jī))
技術(shù)參數(shù):
X1 軸
測(cè)量范圍: 100mm
分辨率: 0.05μm
驅(qū)動(dòng)速度: 0 - 80mm/s 外加手動(dòng)
測(cè)量速度: 0.02, 0.05, 0.1, 0.2mm/s(在表面粗糙度測(cè)量時(shí))
0.02, 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2mm/s(在輪廓測(cè)量時(shí))
測(cè)量方向: 向前／向后
直線度: 0.2μm/100mm (0.4μm/100mm: 在輪廓測(cè)量時(shí))
* 以X1 軸為水平方向上
指示精度 (20oC): ±(0.8+0.01L)μm
L = 驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度 (mm)
傾斜范圍: ±45o
Z1 軸
測(cè)量范圍: 5mm
分辨率: 80nm (5mm 范圍)
8nm (0.5mm 范圍)
0.8nm (0.05mm 范圍)
指示精度 (20oC): ±(1.5+I2HI/100)μm
H 為基于水平位置的測(cè)量高度 (mm)
測(cè)力: 0.75mN
跟蹤角度: 向上: 65o, 向下: 65o(使用配置的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)頭，依表面粗糙度而定)
測(cè)針針尖 (標(biāo)準(zhǔn)型): 金剛石針尖,
針尖角度: 60o, ***半徑: 2μm
測(cè)針針尖 (圓錐): 藍(lán)寶石針尖,
針尖角度: 30o, ***半徑: 25μm
測(cè)針方向: 向下
Z2 軸 (立柱)
立柱移動(dòng): 300mm
分辨率: 1μm
驅(qū)動(dòng)速度: 0 - 20mm/s 外加手動(dòng)
*產(chǎn)品信息僅供參考，型號(hào)和技術(shù)參數(shù)生產(chǎn)廠家有可能隨時(shí)更改
